El Z3TM+ amplía la cartera de módulos al servicio de las plataformas de movimiento. Este módulo añade cuatro grados de libertad independientes, a saber, los ejes Tip, Tilt, Theta y Z incorporados en un eje hueco Theta ampliado. Una de las configuraciones incluye un eje Z que ahora cuenta con un doble eje Z apilado; uno fino (FZ) y otro grueso (CZ). Por su diseño, este módulo opcional permite el cumplimiento completo de los perfiles de movimiento de obleas para aplicaciones avanzadas de semiconductores, proporcionando así a los fabricantes de maquinaria una solución llave en mano para cualquier tecnología de semiconductores. El reducido tamaño del producto establece una densidad récord en términos de número de funciones por volumen, mientras que su rendimiento establece nuevos estándares de mercado en cuanto a precisión y dinámica a nivel de oblea.

El eje Z fino del Z3TM+, basado en flexores, permite a los fabricantes de maquinaria migrar desde soluciones piezoeléctricas costosas y obsoletas, eliminando sus problemas de histéresis al tiempo que admite una resolución, precisión y repetibilidad de nivel nanométrico, a una dinámica aún mayor. Con soporte integrado para la correcta alineación de la muestra, el módulo permite un mayor control de la planitud de las obleas, con respecto a los cabezales del equipo, por medio de sus ejes adicionales de "punta" e "inclinación". Esta funcionalidad única permite a los usuarios un nivel superior de controles de proceso, por ejemplo, planitud, ángulo de incidencia nominal (AOI), rectitud del plano focal y muchos más, todo lo cual se traduce en una oportunidad sin precedentes para aprovechar a nivel de oblea las prestaciones de la tecnología del fabricante. Hoy en día, quienes adoptan esta técnica no sólo simplifican sus esfuerzos de diseño para obtener una mayor precisión, sino que además reducen drásticamente la complejidad de los equipos, la fiabilidad, los esfuerzos de integración y el coste global, lo que permite tiempos de comercialización mucho más rápidos con una mejor relación precio-rendimiento.

La incorporación del Z3TM+ es el resultado de la innovación continua y la integración vertical de ETEL, basadas en la propiedad intelectual de los motores, la electrónica y los conocimientos de control, así como de la sinergia con HEIDENHAIN en lo que respecta a la precisión de posicionamiento de primera clase.