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ETEL S.A.

Productos
CHARON2 STACKED SYSTEM
CHARON2 STACKED SYSTEM
Sistema de posicionamiento
ETEL S.A.
Sistemas de posicionamiento
CHARON2 STACKED SYSTEM
CHARON2 apilados CHARON2 es un nuevo sistema orientado al semiconductor XY apiladas sistema, compatible con los módulos y opciones. Diseño de CHARON2 extiende a casos de uso de Caronte en el espacio de mayor dinámica y cargas útiles más grandes, con nuevas mejoras en precisión y repetibilidad. Superior a 1g aceleración y velocidad de 1 m/s en el doble de carga útil, al tiempo que ofrece una absoluta exactitud de colocación por debajo de 1 μm, CHARON2 representa una solución llave en mano del movimiento de vanguardia, nuevas aplicaciones de semiconductores y las iniciativas de extensión de vida útil .

CHARON2 es otro perfecto ejemplo de integración vertical ETEL, basada en IP propietario para motores, electrónica y control conocimiento y sinergia con HEIDENHAIN cuando relativa a la regeneración de precisión posicionamiento mundial. El resultado es una amplia familia de soluciones que sirve cualquier necesidades de posicionamiento de oblea OEM, proceso o control de procesos relacionados y desde un núcleo XY hasta un sistema completo de hasta 9 ejes, controla de manera independiente.

CHARON2 proviene de anticipado, alineados, requisitos de OEM inmediatamente cumplidos con otro producto optimizado, reduciendo los costos de integración de Moe y esfuerzos de time-to-market.

Características - movimiento Total: hasta 650 x 410 mm
-2 ISO limpio compatible
El texto fue traducido del inglés al alemán por "Bing Translator".
  • CHARON2 XY
  • CHARON2 XYT
PLATAFORMA PLANARE METIS
PLATAFORMA PLANARE METIS
Sistemas de movimiento
ETEL S.A.
Sistemas de posicionamiento
PLATAFORMA PLANARE METIS
Esta plataforma, Metis, es una plataforma planar híbrida con rodamientos mecánicos/neumáticos dedicada a aplicaciones de paso y escaneado. Se trata de una plataforma de 6 ejes moviéndose en las direcciones de X, Y, Z y Theta. Parámetros clave son una planitud dinámica a lo largo de todo el recorrido, así como una repetitividad bidireccional. Esta plataforma se utiliza actualmente en:
- Control de proceso de oblea (wafer), tales como Dimensión Crítica y Metrología de Capa Fina.
- Marcado de la oblea
- Recocido térmico por laser de la oblea

También puede ser usada en el back-end de líneas de máquinas litográficas (alineadoras de máscaras) y en algunas aplicaciones de corte de la oblea (dicing).

Esta plataforma tiene las siguientes prestaciones:
- Planitud de movimiento dada por los rodamientos de aire
- Rotación ilimitada en Theta
- Doble integración en Z: Desplazamiento basto para carga/descarga, y fino para ajuste del foco
- Compensador de gravedad en Z integrado (pendiente de patente)
- La corrección de guiñada puede realizarse desviando ligeramente los motores Y1 e Y2
- Puede ser integrada adicionalmente con un sistema de aislamiento activo totalmente controlado por ETEL
- Los recorridos en X e Y pueden ser prolongados con algunas limitaciones de prestaciones

Especificaciones
- Carrera total: 321 mm para XY x 12 mm para Z
- Velocidad: 1,2 m/s para XY, 0,1 m/s para Z y 15,7 rad/s para T
- Aceleración: 1,2 g para XY, 0,2 g para Z y 104,7 rad/s
2 para T
- Estabilidad de posición: ±25 nm para XY, ±15 nm para Z y ±0,2 arcsec para T
- Repetitividad bidireccional: ±0,4 µm para XY, ±0,3 µm para Z y ±2 arcsec para T

Solicite el Manual de Integración correspondiente para más información.
XY SISTEMA PLATAFORMA VULCANO
XY SISTEMA PLATAFORMA VULCANO
Sistemas de posicionamiento
ETEL S.A.
Sistemas de posicionamiento
XY SISTEMA PLATAFORMA VULCANO
El sistema Vulcano XY es un diseño de tres piezas que permite una solución compacta y diseñada en coste, unido a rodamientos mecánicos y sistemas de medida lineales de altas prestaciones.
La base de los ejes inferiores (Y1 e Y2) se compone de 2 motores lineales con núcleo férrico, en gantry, que junto a los controladores AccurET, permiten mejor repetitividad y una eficiencia óptima. El eje superior (X) se compone de un motor lineal de núcleo férrico. El uso de motores con núcleo férrico ofrece una alta densidad de fuerza para imprimir altas aceleraciones y velocidades, a la vez que manteniedo una baja temperatura de trabajo.

La base del eje superior (X), que incorpora los motores de los ejes inferiores (Y1 e Y2) es de aluminio para optimizar masa y dinámica. La expansión térmica se gestiona con elementos flexibles.
Hay 3 guías lineales en la base inferior. Las dos guías externas son guías de bolas recirculantes mientras que la interior (en el medio de la base) es una guía de rodillos recirculantes. El acoplamiento entre guías es mediante elementos flexibles. Algunos de éstos se montan sobre los bloques de las guías exteriores y permiten la traslación en la dirección X. Otros se montan sobre el rail central y permiten la rotación sobre el eje vertical. El eje superior (X) integra 2 rodamientos lineales. Es acoplamiento es mediante un nuevo conjunto de elementos flexibles que permiten la traslación en la dirección Y para uno de los raíles.

El uso de esta plataforma es apropiado, entre otros, para:
- Aplicaciones de Control de Proceso de Obleas tales como Metrología de Recubrimiento de Capa, Dimensiones Críticas y Metrología de Lámina Delgada
- Back-end: procesos de flip-chip específicos sobre grandes paneles/sustratos

Características
- Diseño compacto
- Estabilidad de posición nanométrica
- Tiempos de desplazamiento y estabilización cortos
- Alta dinámica
- Alta repetitividad bidireccional
- Alta estabilidad de posición
- Compatibilidad con sala limpia ISO class 1

Solicite el Manual de Integración correspondiente para más información.
XY SISTEMA PLATAFORMA VULCANO
XY SISTEMA PLATAFORMA VULCANO
Sistema de posicionamiento
ETEL S.A.
Sistemas de posicionamiento
XY SISTEMA PLATAFORMA VULCANO
La plataforma Vuclano XYT se compone del sistema estándar VULCANO XY equipado con el módulo rotativo RTTB que incluye un encoder de alta resolución montado sobre un excepcional rodamiento mecánico.
El uso de esta plataforma es adecuado para, entre otros:
- Aplicaciones de Control de Proceso de Obleas tales como Metrología de Recubrimiento de Capa,Dimensiones Críticas y Metrología de Lámina Delgada.
- Back-end: procesos de flip-chip específicos sobre grandes paneles/sustratos

Características
- Diseño compacto
- Estabilidad de posición nanométrica
- Tiempos de desplazamiento y estabilización cortos
- Alta dinámica
- Alta repetitividad bidireccional
- Alta estabilidad de posición
- Compatibilidad con sala limpia ISO class 1


Solicite el Manual de Integración correspondiente para más información.
XYZ3TH SISTEMA PLATAFORMA VULCANO
XYZ3TH SISTEMA PLATAFORMA VULCANO
Sistema de posicionamiento
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Sistemas de posicionamiento
XYZ3TH SISTEMA PLATAFORMA VULCANO
La plataforma Vulcano XYZ3TH se compone del sistema estándar VULCANO XY equipado con el módulo combinado Z3TH. El Z3TH, con 4 grados de libertad, proporciona 364° de rotación Theta, ejes Z dobles, amplio para carga-descarga de oblea y fino para enfoque, así como una corrección Tip-Tilt de ±0.1°.

Características
- Diseño compacto
- Estabilidad de posición nanométrica
- Alta dinámica: 2,5 g, 1,5 m/s
- Tiempos de desplazamiento y estabilización cortos
- Compatibilidad con sala limpia ISO class 1
- Corrección tip-tilt sobre ±0.1°
- Doble integración Z
- Compensador de gravedad integrado para Z
- Excelente linealidad en Z
- Repetitividad y jitter en Z mejorados
- Capacidad de corrección planitud de la plataforma
- Suministro de vacío a nivel del plato

Solicite el Manual de Integración correspondiente para más información.
Z3TH MÓDULO COMBINADO
Z3TH MÓDULO COMBINADO
MÓDULO COMBINADO
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Sistemas de posicionamiento
Z3TH MÓDULO COMBINADO
El Módulo Combinado Z3TH aumenta el rango de módulos para montar sobre las plataformas XY existentes. El Z3TH, con 4 grados de libertad, proporciona 364° de rotación Theta, ejes Z dobles, amplio para carga-descarga de oblea y fino para enfoque, así como una corrección Tip-Tilt de ±0.1°. Este módulo Z3TH es una atractiva alternativa a los piezo-actuadores Z, eliminando la histéresis y la no-linealidad en lazo abierto, a la vez que mejorar el error de seguimiento, la repetitividad, y las prestaciones de desplazamiento y estabilización de posición, además de recorridos mucho mayores.

El módulo Z3TH está principalmente destinado a aplicaciones de tipo front-end y proporciona una adecuada solución para afrontar cualquier aplicación que requiera:
- Alineación entre la herramienta del proceso y un sustrato
- Mapeado de planitud
- Mejora al desplazar y estabilizar posición

Principalmente aplicado en litografía de back-end y control de proceso de obleas.

Características
- Rotación Theta de 364°
- Corrección tip-tilt sobre ±0.1° para nivelación y mejora de desplazamiento y estabilización
- Paso de vacío hacia el nivel del plato
- Integración de Z doble: recorrido amplio para carga/descarga y fino para ajuste foco
- Compatible con sala limpia ISO clase 1
- Baja desviación axial y radial de ±1 µm

Solicite el Manual de Integración correspondiente para más información.
ZT MÓDULO COMBINADO
ZT MÓDULO COMBINADO
ZT módulo combinado
ETEL S.A.
Sistemas de posicionamiento
ZT MÓDULO COMBINADO
La caja ZT es un módulo con dos grados de libertad, en Z y Theta, en una sola unidad. Hay dos actuaciones posibles sobre la dirección Z, una amplia y una fina. Se puede utilizar de forma separada o montada sobre una plataforma XY. Este módulo es especialmente apropiado para aplicaciones de control de proceso de obleas tales como metrología de capa fina, dimensiones críticas, etc.

Características
- Giro infinito
- Suministro de vacío integrado a nivel de mordaza
- Compensador de gravedad integrado
- Compatible con salas limpias ISO1 gracias a succión por vacío
- Eje Z con amplio recorrido de 12 mm para carga/descarga y recorrido fino de 4 mm para ajuste de foco
- Versión sin Z amplio posible
- Muy buen jitter Z, así como desplazamiento y fijación de posición

Especificaciones
- Repetitividad bidireccional ±0,3 µm para Z y ±2 arcsec para T
- Precisión en posición: ±0,6 µm para Z y ±30 arcsec para T
- Velocidad hasta: 0,1 m/s para Z y 15,7 rad/s para T
- Aceleración hasta: 0,2 g para Z y 104,7 rad/s² para T
- Estabilidad en posición: ±5 nm para Z y ±0,2 arcsec para T
- Capacidad de carga: 1 kg

Solicite el Manual de Integración correspondiente para más información.
QuiET
QuiET
Sistema de aislamiento activo
ETEL S.A.
Elementos de montaje elásticos / aislamiento de vibración
QuiET
Una nueva solución para el aislamiento de vibraciones
El Sistema de Aislamiento Activo QuiET es un nuevo módulo que cancela las vibraciones tanto de la plataforma como del suelo en 6 Grados de Libertad (6 GL), evitando que perturben el proceso que tiene lugar encima de su plataforma de movimiento.

La mayoría de las veces, las aplicaciones de alta gama en la industria del semiconductor incorporan configuraciones de equipos complejos que, de un modo u otro, están conectados al granito de la plataforma de movimiento. Por definición, cualquier vibración en el lado del granito se traduce en imprecisiones y tiempos de fijación de posición más largos en el lado de la herramienta del proceso. Gracias a la solución de ETEL, librarse de esas vibraciones ¡nunca se ha hecho con tanta eficacia!

¡Llevando las prestaciones de movimiento al siguiente nivel!
La Serie QuiET lleva un paso más allá la estrategia de Integración hacia delante de ETEL. A partir de ahora, una plataforma de movimiento avanzada de ETEL no solo incluye el sistema de movimiento y sus controladores de vanguardia asociados, sino que puede beneficiarse también de su exclusivo módulo aislamiento activo. ¡Esto convierte a ETEL en el único Proveedor de Sistemas de Movimiento del mundo ofreciendo tan amplio alcance de suministro!
Gracias a su exclusivo sensor de bajo ruido y a su homogénea, totalmente digital y determinística arquitectura de control de movimiento basada en TransnET 1 Gb, ETEL reduce el movimiento y tiempo de fijación de posición a valores sin precedentes. Con una precisión de prealimentación de aceleración alcanzando más del 99%, ¡menos del 1% de la energía generada por el movimiento de la plataforma permanece en el lado del granito! La masa del granito en el sistema de aislamiento activo puede por tanto mantenerse pequeña, lo que a su vez reduce el tamaño y masa total, mientras que los útiles de proceso se benefician directamente de un entorno con menor vibración.

Modular, escalable y utilizable
La Serie QuiET se ha diseñado para ser altamente modular y escalable. Gracias a un listado de componentes activos y pasivos preseleccionados, ¡ETEL puede encontrar rápidamente la solución óptima que se acomode a sus necesidades! Los elementos de resorte, actuadores de Lorentz y los sensores exclusivos se insertan dentro de una arquitectura de sándwich que se personaliza entonces para cubrir cualquier requerimiento del sistema y facilita su servicio una vez instalados. Los controladores del módulo QuiET y los de la plataforma de movimiento son todos controladores AccurET estándar y pueden colocarse en el mismo rack o armario eléctrico.

Herramienta de puesta en marcha
Se dispone de un intuitivo interfaz gráfico de usuario. Admite cualquier tipo de configuración de plataforma e incluye:
- Ajuste automático de los parámetros de prealimentación
- Identificación del sistema
- Capacidades de nivelación integradas
MOTORES TORQUE TMB+
MOTORES TORQUE TMB+
Elemento de accionamiento
ETEL S.A.
Elementos de accionamiento
MOTORES TORQUE TMB+
Tras décadas de presencia mundial en la máquina-herramienta con motores torque de tecnología punta, ETEL presenta el nuevo motor torque TMB+. TMB+ es una evolución del renombrado TMB, que combina un aumento de prestaciones y nuevas propiedades, a la vez que mantiene la interfaz de los motores existentes. De hecho, la densidad de par en los TMB+ aumenta en hasta un 20% con exactamente el mismo tamaño y reduce las pérdidas de potencia en hasta un 30%. El rango de velocidad también se extiende significativamente. El TMB+ permite ampliar las prestaciones de las máquinas y permite que lleguen a nuevos procesos, sin ningún esfuerzo de rediseño. Con su destacado nivel de prestaciones, el TMB+ dará acceso a la tecnología de accionamiento directo a más aplicaciones, manteniendo al mismo tiempo la calidad y fiabilidad en sus niveles más altos y reduciendo el coste de propiedad.

TMB+ vs. TMB
- Par de continua incrementado en hasta un 20%
- Par de pico incrementado en un 5%
- Reducción de las pérdidas de potencia en hasta un 30%
- Velocidades incrementadas en un factor de hasta x4
- Nueva talla de motor
- Nueva longitud activa de 200 mm
- Doble cantidad de variantes de bobinado
- Mismo interfaz mecánico

Características
- Más de 60 tamaños estándar disponibles
- Recubrimiento niquelado en estator y rotor
- Canales de refrigeración por agua
- Tensión de bus 600 VDC
- Muy alta densidad de par continuo
- Alto par de pico
- Bajo rizado de par
- Compatible con módulo IMTHP para un control térmico preciso

Especificaciones
- Diámetro exterior hasta 1.290 mm
- Gran eje hueco hasta 1.070 mm
- Par de pico hasta 42.900 Nm
- Velocidad hasta 4.590 rpm

Véanse las correspondientes especificaciones y catálogo o solicitar el manual de motores torque para más información.
MOTORES TORQUE TMB
MOTORES TORQUE TMB
Elemento de accionamiento
ETEL S.A.
Elementos de accionamiento
MOTORES TORQUE TMB
El motor torque TMB ha sido el motor más popular en la industria de máquina-herramienta durante más de 15 años. Hoy, el motor TMB se usa en todo el mundo en cientos de aplicaciones diferentes. El diseño patentado del TMB ofrece la mejor densidad de par posible así como un elevado par de pico y un rizado de par extremamente bajo. La evacuación de calor está optimizada vía los canales de refrigeración por agua en la carcasa del TMB para aumentar el par continuo a la vez que se mantiene fría la estructura de la máquina. Además, todos los motores torque de ETEL están provistos de sensores de temperatura para combinar las máximas prestaciones con una operación extremadamente segura (véase IMTHP para más detalles).

Características
- 50 modelos estándar disponibles
- Diseñado para las aplicaciones más exigentes
- Canales para refrigeración por agua
- Tensión de bus 600 VDC
- Alto par continuo
- Muy alto par de pico
- Compatible con el módulo IMTHP para un control térmico preciso
- Bajo rizado de par

Especificaciones
- Diámetros exteriores de hasta 1.290 mm
- Grandes diámetros de eje hueco de hasta 1.070 mm
- Pares de pico de hasta 31.200 Nm
- Velocidades de hasta 4.500 rpm

Véanse las correspondientes especificaciones y catálogo o solicitar el manual de motores torque para más información.
MOTORES TORQUE TMK
MOTORES TORQUE TMK
Motores Torque
ETEL S.A.
Elementos de accionamiento
MOTORES TORQUE TMK
La gama de motores torque TMK es un diseño único que redefine el rango de trabajo de los motores torque en la industria. El diseño electromagnético avanzado de los motores TMK les permite alcanzar niveles de velocidad que eran totalmente insospechados para los motores torque. El rango de velocidades máximas de los TMK puede alcanzar 8 veces la velocidad de los motores torque convencionales con tamaños similares. Además, el par continuo y de pico es mayor que el de los motores torque de tamaños similares. En consecuencia, el TMK es un diseño revolucionario único que cambia drásticamente la definición de "alta velocidad" en el mundo de los motores torque.

Características
- 24 modelos estándar disponibles
- Más para y más velocidad en comparación con los motores torque clásicos
- Alta robustez del motor (imanes completamente encapsulados)
- Estator TMK (hasta Ø530 mm) compatible con el interfaz mecánico de las series TMB
- Canales para refrigeración por agua
- Tensión de bus 600 VDC
- Muy alto par de pico
- Par continuo incrementado en hasta un 30% vs TMB
- Incremento de velocidad en hasta 8 veces vs TMB
- Conforme a funcionamiento en modo de campo debilitado
- Compatible con el módulo IMTHP para un control térmico preciso
- Bajo rizado de par

Especificaciones
- Diámetros exteriores de hasta 1.050 mm
- Grandes diámetros de eje hueco de hasta 800 mm
- Pares de pico de hasta 20.800 Nm
- Velocidades de hasta 5.450 rpm

Véanse las correspondientes especificaciones y catálogo o solicitar el manual de motores torque para más información.
MOTORES TORQUE TML
MOTORES TORQUE TML
Motores Torque
ETEL S.A.
Elementos de accionamiento
MOTORES TORQUE TML
El motor torque TML es una versión de bajo peso y bajo coste del conocido motor TMB. Esta gama de motores está perfectamente indicado para aquellas aplicaciones que requieran el nivel de prestaciones dinámicas de un motor torque para accionamiento directo con una baja demanda de par continuo. El TML se utiliza en aplicaciones donde la refrigeración por agua no es necesaria. Los motores TML se han diseñado con lóbulos de fijación específicos que permiten un fácil ensamblaje a la estructura final de la máquina.

Características
- 25 modelos estándar disponibles
- Bajo coste
- Sin opción de refrigeración por agua
- Tensión de bus 600 VDC
- Muy alto par de pico
- Compatible con el módulo IMTHP para un control térmico preciso
- Bajo rizado de par

Especificaciones
- Diámetros exteriores de hasta 581 mm
- Grandes diámetros de eje hueco de hasta 420 mm
- Pares de pico de hasta 4.990 Nm
- Velocidades de hasta 1.000 rpm

Véanse las correspondientes especificaciones y catálogo o solicitar el manual de motores torque para más información.
MOTORES TORQUE TMM
MOTORES TORQUE TMM
Elemento de accionamiento
ETEL S.A.
Elementos de accionamiento
MOTORES TORQUE TMM
El motor torque TMM es una versión de bajo peso y bajo coste del conocido motor TMB. Esta gama de motores está perfectamente indicada para aquellas aplicaciones que requieran el nivel de prestaciones dinámicas de un motor torque para accionamiento directo con una baja demanda de par continuo. El TMM se utiliza en aplicaciones donde la refrigeración por agua no es necesaria. Los motores TMM se han diseñado para ser pegados directamente a la estructura final de la máquina.

Características
- 25 modelos estándar disponibles
- Bajo coste
- Sin opción de refrigeración por agua
- Tensión de bus 600 VDC
- Muy alto par de pico
- Compatible con el módulo IMTHP para un control térmico preciso
- Bajo rizado de par

Especificaciones
- Diámetros exteriores de hasta 530 mm
- Grandes diámetros de eje hueco de hasta 420 mm
- Pares de pico de hasta 4.990 Nm
- Velocidades de hasta 2.600 rpm

Véanse las correspondientes especificaciones y catálogo o solicitar el manual de motores torque para más información.
ZAO SHORT STROKE ACTUATOR
ZAO SHORT STROKE ACTUATOR
Ajustador de precisión
ETEL S.A.
Ajustadores de precisión
ZAO SHORT STROKE ACTUATOR
ZAO es un actuador caracterizado por una disposición de rodamiento sin fricción y una masa móvil ligera, que garantiza una aplicación de la fuerza muy baja y repetible, así como una baja fuerza de rebasamiento al impactar sobre la superficie de contacto. Construido para aprovechar totalmente el algoritmo de control de fuerza sin sensor de ETEL, ZAO permite simultáneamente una precisión de control de la fuerza muy ajustada (0,2 N ±10%) y una capacidad dinámica muy elevada (hasta 20 g's).

Especificaciones
- Carrera total: 27 mm
- Aceleración: 20 g
- Aplicación de fuerza nominal: 0,2 a 2 N
- Estabilidad de la fuerza con un nivel de fuerza de 0,2N: ± 3 mN
- Movimiento y fuerza típicos: 8,5 mm ± 0,3 mm & 0,2 N ± 0,04N en 60 ms

Solicite el Manual de Integración correspondiente para más información.
SOLUCION EJES VERTICALES DYNX
SOLUCION EJES VERTICALES DYNX
Ajustador de precisión
ETEL S.A.
Ajustadores de precisión
SOLUCION EJES VERTICALES DYNX
Estos ejes DynX pueden incorporar placas para útiles (estándares o personalizadas) y conectores (motor, encoder y cables de extensión opcionales hi-flex / larga-duración disponibles en varias longitudes) compatibles con los controladores de ETEL.

Características
- 1 ancho: 155 mm
- Tres recorridos estándar hasta 150 mm
- Versión con actuador por husillo de bolas
- Feedback con encoder dual
- Versión de motor lineal con contrapeso también disponible bajo petición
- Interfaz de fácil acceso
- Opciones disponibles, tales como contactos de fin de carrera, freno y encapsulación.

Especificaciones
- Repetitividad bidireccional ±0,5 µm a ±3 sigma
- Precisión de posicionamiento absoluta
- hasta ±4 µm (sin mapeado)
- no mayor que ±2 µm (con mapeado)
- Velocidad hasta 3 m/s
- Aceleración hasta 3 g (30 m/s2)
- Estabilidad de la posición ±40 nm
ACTUADOR DE CARRERA CORTA AQUARIUS
ACTUADOR DE CARRERA CORTA AQUARIUS
Actuador de carrera corta
ETEL S.A.
Ajustadores de precisión
ACTUADOR DE CARRERA CORTA AQUARIUS
Este actuador, AQUARIUS, puede ser utilizado en cualquier aplicación donde se requiera fuerza, rendimiento, larga vida útil y fiabilidad, junto con un factor de forma pequeño. Es especialmente apropiado cuando se requiere un eje Z independiente para manipuladores para comprobación.

Especificaciones
- Recorrido total: 11,4 mm
- Fuerza de pico: 120 N
- Fuerza continua: 29,5 N
- Velocidad hasta 1 m/s
- Aceleración hasta 30 g

Para más información solicitar el correspondiente manual de integración .
ACTUADOR DE CARRERA CORTA TUCANA
 ACTUADOR DE CARRERA CORTA TUCANA
Actuador de carrera corta
ETEL S.A.
Ajustadores de precisión
ACTUADOR DE CARRERA CORTA TUCANA
Este actuador, Tucana, puede ser utilizado en cualquier aplicación donde se requiera fuerza, rendimiento, larga vida útil y fiabilidad, junto con un factor de forma pequeño.

Es especialmente apropiado cuando se requiere un eje Z independiente para manipuladores para comprobación.

Especificaciones
> Recorrido total: 10,7 mm
> Fuerza de pico: 29 N
> Fuerza continua: 11,5 N
> Velocidad hasta 1 m/s
> Aceleración hasta 30 g

Para más información solicitar el correspondiente manual de integración.
EJES ROTATIVOS RTMBI
EJES ROTATIVOS RTMBI
Ejes rotativos
ETEL S.A.
Unidades de cuadro de mandos
EJES ROTATIVOS RTMBI
La Serie RTMBi es una familia de platos divisores de alta precisión con 5 longitudes activas distintas. Al incorporar motores torque de ETEL, los RTMBi se benefician de la mejor constante de motor del mercado (Nm/√W), permitiendo altas aceleraciones durante la indexación con la mínima disipación de potencia. Los RTMBi son la solución estándar ideal para aquellas aplicaciones que requieran alta repetibilidad y tiempos de indexado cortos. Esta solución de accionamiento directo permite ciclos de alta carga, alta dinámica, sobresaliente precisión, bajo mantenimiento y facilidad de integración.

Una solución única de rodamiento con encoder proporciona a los RTMBi el ratio de par a volumen más alto del mercado. Para acomodar los cables y tubos del cliente se dispone de un eje hueco de tamaño optimizado. Por separado, o combinado con los actuadores de corto recorrido y los controladores ETEL con control de fuerza, el RTMBi es la solución perfecta para aplicaciones de back-end en semiconductores, electrónica, automatización, o impresión, tales como comprobadores de MEMs, die bonders, comprobadores tipo pick and place o torreta, ¡y más!

Características
- Mesas rotativas para aplicaciones de indexación de alta dinámica
- 5 alturas diferentes
- Alta relación entre par y altura
- Elevadas prestaciones dinámicas
- Gran eje hueco para una máxima flexibilidad
- Tecnología de motores torque TMB proporcionando un alto nivel de par

RTMBi vs. RTMB
- Par de continua mejorado hasta en un 20%
- Pares de pico mejorado hasta en un 8.5%
- Inercia reducida en hasta un 20%
- Compatibilidad con 600 VDC
- Mismo interfaz mecánico

Especificaciones
- Repetitividad bidireccional ±3 arcsec a ±3 sigma
- Precisión de posición
- ±20 arcsec (sin mapeado)
- ±6 arcsec (con mapeado)
- Velocidad hasta 1.200 rpm

Solicite el Manual de Integración correspondiente para más información.
MOTORES LINEALES CON NÚCLEO DE HIERRO LMA
MOTORES LINEALES CON NÚCLEO DE HIERRO LMA
Motores lineales
ETEL S.A.
Accionamientos lineales
MOTORES LINEALES CON NÚCLEO DE HIERRO LMA
Los motores lineales LMA son motores de tamaño medio optimizados para aplicaciones que requieren un alto grado de fuerza continua. El diseño patentado de ETEL permite ofrecer un alto nivel de fuerza continua en un volumen muy reducido. Además, el nivel de rizado de fuerza es muy bajo debido a su diseño electromagnético específico.

Características
- 8 modelos estándar disponibles
- Diseñados para fuerzas continuas elevadas
- Tamaño medio
- Refrigeración natural
- Bajo rizado de fuerza
- 600 VDC

Especificaciones
- Fuerza continua hasta 944 N
- Fuerza de pico hasta 3.650 N
- Velocidad hasta 15 m/s

Véanse las correspondientes especificaciones y catálogo o solicitar el manual de motores lineales para más información.
MOTORES LINEALES CON NÚCLEO DE HIERRO LMG
MOTORES LINEALES CON NÚCLEO DE HIERRO LMG
Motores lineales
ETEL S.A.
Accionamientos lineales
MOTORES LINEALES CON NÚCLEO DE HIERRO LMG
Motores linealeLos motores lineales LMG son motores de pequeño tamaño optimizados para aplicaciones de alta dinámica. Los motores LMG ofrecen un elevado ratio de fuerza de pico a continua. Con un peso bajo y una alta capacidad de fuerza de pico, los motores LMG son idóneos para ejes lineales con movimientos de masas medias a bajas, pero con requerimientos de grandes aceleraciones. Adicionalmente, el patentado diseño de ETEL ofrece un compacto factor de forma y el más bajo rizado de fuerza para un movimiento suave. con núcleo de hierro LMG

Características
- 14 modelos estándar disponibles
- Diseñado para fuerzas de pico elevadas
- Diseño compacto
- Económico
- Refrigeración natural
- Bajo rizado de fuerza
- 600 VDC

Especificaciones
- Fuerza continua hasta 689 N
- Fuerza de pico hasta 3.630 N
- Velocidad hasta 15 m/s

Véanse las correspondientes especificaciones y catálogo o solicitar el manual de motores lineales para más información.
MOTORES LINEALES SIN NÚCLEO DE HIERRO ILF
MOTORES LINEALES SIN NÚCLEO DE HIERRO ILF
Motores lineales
ETEL S.A.
Accionamientos lineales
MOTORES LINEALES SIN NÚCLEO DE HIERRO ILF
Los motores lineales sin núcleo de hierro ILF son motores de dimensión reducida adecuados para aplicaciones de muy alta dinámica y masas móviles ligeras. Además, la ausencia total de rizado de fuerza asegura una estabilidad perfecta en la velocidad y hace de los ILF los motores apropiados para cualquier aplicación de escaneado donde el control de velocidad sea una especificación clave. Como en todos los motores sin núcleo de hierro, los ILF presentan una fuerza de atracción nula entre el planeador y el camino magnético.

Características
- 10 modelos estándar disponibles
- Diseñado para fuerzas intermedias
- Dimensiones de reducidas a intermedias
- Partes móviles ligeras
- Apropiado para rodamientos neumáticos
- Refrigeración natural
- Sin fuerza de atracción
- Sin rizado de fuerza

Especificaciones
- Fuerza continua hasta 134 N
- Fuerza de pico hasta 820 N
- Velocidades de hasta 20 m/s

Véanse las correspondientes especificaciones y catálogo o solicitar el manual de motores lineales para más información.
MOTORES LINEALES SIN NÚCLEO DE HIERRO ILM
MOTORES LINEALES SIN NÚCLEO DE HIERRO ILM
Motores lineales
ETEL S.A.
Accionamientos lineales
MOTORES LINEALES SIN NÚCLEO DE HIERRO ILM
Los motores lineales sin núcleo de hierro ILM son una versión más potente de los motores ILF. Los ILM combinan todas las ventajas de los motores sin núcleo de hierro y proporcionan una fuerza continua elevada. Esta familia de motores es apropiada para las aplicaciones de escaneo de masas medias a elevadas más exigentes en las que se requieren fuerzas de atracción nulas y una excelente estabilidad en la velocidad. Con su bajo ratio de masa por fuerza, los ILM son adecuados para aplicaciones de muy alta dinámica en diversas industrias. Para aumentar aún más la fuerza continua, los ILM pueden suministrarse con un planeador con refrigeración forzada por aire.

Características
- 8 modelos estándar disponibles
- Diseñado para fuerzas continuas y de pico elevadas
- Dimensiones de intermedias a grandes
- Apropiado para rodamientos neumáticos
- Opción para refrigeración forzada por aire
- Sin fuerza de atracción
- Sin rizado de fuerza

Especificaciones
- Fuerzas continuas hasta 534 N
- Fuerzas de pico hasta 2.500 N
- Velocidades hasta 20 m/s

Véanse las correspondientes especificaciones y catálogo o solicitar el manual de motores lineales para más información.
MOTOTRES LINEALES CON NÚCLEO DE HIERRO LMS
MOTOTRES LINEALES CON NÚCLEO DE HIERRO LMS
Motores lineales
ETEL S.A.
Accionamientos lineales
MOTOTRES LINEALES CON NÚCLEO DE HIERRO LMS
Los motores lineales LMS ofrecen una fuerza continua sustancialmente mayor que la del rango de los LMG existentes, manteniendo valores similares en términos de integración mecánica. Los LMS se parecen suficientemente a los LMG como para permitir una fácil actualización de máquina a aquellos clientes de los LMG existentes que buscan mayores prestaciones. Se pueden encontrar aplicaciones para los LMS en cualquier máquina en la que se requiera una alta densidad de potencia a la vez que una alta dinámica para masas móviles de rango medio. Los LMS cumplirán satisfactoriamente exigentes requisitos de movimiento desde máquinas de automatización de altas prestaciones hasta exigentes sistemas de movimiento para semiconductor y electrónica.

Características
- 14 modelos estándar disponibles
- Diseñado para fuerzas de pico elevadas
- Diseño compacto
- Económico
- Refrigeración natural
- Bajo rizado de fuerza
- 600 VDC

Especificaciones
- Fuerza continua hasta 908 N
- Fuerza de pico hasta 3.640 N
- Velocidad hasta 15 m/s

Véanse las correspondientes especificaciones y catálogo o solicitar el manual de motores lineales para más información.
IMTHP PROTECCIÓN TÉRMICA DEL MOTOR
IMTHP PROTECCIÓN TÉRMICA DEL MOTOR
Protección térmica del motor
ETEL S.A.
Mecanismos de mando y control de la temperatura y la cantidad de calor
IMTHP PROTECCIÓN TÉRMICA DEL MOTOR
El IMTHP protege los motores torque ETEL contra sobrecalentamientos. A la vez, permite al usuario alcanzar el límite térmico del motor manteniendo un nivel de seguridad aceptable.
- Monitorización precisa de la temperatura para evitar sobrecalentamientos incluso en operaciones de motor exigentes (por ejemplo control en parado).
- Los retrasos intrínsecos en la medición de temperatura se compensan por software para obtener una monitorización en tiempo real auténtica
- La información completa de la temperatura del motor se facilita al usuario mediante:
- 1 x señal KTY analógica
- 1 x señal digital de alarma
- 1 x señal digital de error

Solicite el manual de motores torque para más información.
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