Los motores lineales sin núcleo de hierro ILF+ son motores de dimensión reducida adecuados para aplicaciones de muy alta dinámica y masas móviles ligeras. Además, la ausencia total de rizado de fuerza asegura una estabilidad perfecta en la velocidad y hace de los ILF+ los motores apropiados para cualquier aplicación de escaneado donde el control de velocidad sea una especificación clave. Como en todos los motores sin núcleo de hierro, los ILF+ presentan una fuerza de atracción nula entre el planeador y el camino magnético. Para incrementar aún más la fuerza continua, el ILF+ puede suministrarse con una opción de refrigeración de aire forzada. Características - 3 modelos estándar disponibles - Diseñado para fuerzas intermedias - Dimensiones de reducidas a intermedias - Partes móviles ligeras - Apropiado para rodamientos neumáticos - Opción de refrigeración de aire forzada - Sin fuerza de atracción - Sin rizado de fuerza Especificaciones - Fuerza continua hasta 69 N - Fuerza de pico hasta 297 N - Reducidas masas de los deslizadores de 100 g

La gama de motores torque TMK es un diseño único que redefine el rango de trabajo de los motores torque en la industria. El diseño electromagnético avanzado de los motores TMK les permite alcanzar niveles de velocidad que eran totalmente insospechados para los motores torque. El rango de velocidades máximas de los TMK puede alcanzar 8 veces la velocidad de los motores torque convencionales con tamaños similares. Además, el par continuo y de pico es mayor que el de los motores torque de tamaños similares. En consecuencia, el TMK es un diseño revolucionario único que cambia drásticamente la definición de "alta velocidad" en el mundo de los motores torque. Características - 24 modelos estándar disponibles - Más para y más velocidad en comparación con los motores torque clásicos - Alta robustez del motor (imanes completamente encapsulados) - Estator TMK (hasta Ø530 mm) compatible con el interfaz mecánico de las series TMB - Canales para refrigeración por agua - Tensión de bus 600 VDC - Muy alto par de pico - Par continuo incrementado en hasta un 30% vs TMB - Incremento de velocidad en hasta 8 veces vs TMB - Conforme a funcionamiento en modo de campo debilitado - Compatible con el módulo IMTHP para un control térmico preciso - Bajo rizado de par Especificaciones - Diámetros exteriores de hasta 1.050 mm - Grandes diámetros de eje hueco de hasta 800 mm - Pares de pico de hasta 20.800 Nm - Velocidades de hasta 5.450 rpm Véanse las correspondientes especificaciones y catálogo o solicitar el manual de motores torque para más información.

El motor torque TML es una versión de bajo peso y bajo coste del conocido motor TMB. Esta gama de motores está perfectamente indicado para aquellas aplicaciones que requieran el nivel de prestaciones dinámicas de un motor torque para accionamiento directo con una baja demanda de par continuo. El TML se utiliza en aplicaciones donde la refrigeración por agua no es necesaria. Los motores TML se han diseñado con lóbulos de fijación específicos que permiten un fácil ensamblaje a la estructura final de la máquina. Características - 25 modelos estándar disponibles - Bajo coste - Sin opción de refrigeración por agua - Tensión de bus 600 VDC - Muy alto par de pico - Compatible con el módulo IMTHP para un control térmico preciso - Bajo rizado de par Especificaciones - Diámetros exteriores de hasta 581 mm - Grandes diámetros de eje hueco de hasta 420 mm - Pares de pico de hasta 4.990 Nm - Velocidades de hasta 1.000 rpm Véanse las correspondientes especificaciones y catálogo o solicitar el manual de motores torque para más información.

El motor torque TMM es una versión de bajo peso y bajo coste del conocido motor TMB. Esta gama de motores está perfectamente indicada para aquellas aplicaciones que requieran el nivel de prestaciones dinámicas de un motor torque para accionamiento directo con una baja demanda de par continuo. El TMM se utiliza en aplicaciones donde la refrigeración por agua no es necesaria. Los motores TMM se han diseñado para ser pegados directamente a la estructura final de la máquina. Características - 25 modelos estándar disponibles - Bajo coste - Sin opción de refrigeración por agua - Tensión de bus 600 VDC - Muy alto par de pico - Compatible con el módulo IMTHP para un control térmico preciso - Bajo rizado de par Especificaciones - Diámetros exteriores de hasta 530 mm - Grandes diámetros de eje hueco de hasta 420 mm - Pares de pico de hasta 4.990 Nm - Velocidades de hasta 2.600 rpm Véanse las correspondientes especificaciones y catálogo o solicitar el manual de motores torque para más información.

Esta plataforma, Metis, es una plataforma planar híbrida con rodamientos mecánicos/neumáticos dedicada a aplicaciones de paso y escaneado. Se trata de una plataforma de 6 ejes moviéndose en las direcciones de X, Y, Z y Theta. Parámetros clave son una planitud dinámica a lo largo de todo el recorrido, así como una repetitividad bidireccional. Esta plataforma se utiliza actualmente en: - Control de proceso de oblea (wafer), tales como Dimensión Crítica y Metrología de Capa Fina. - Marcado de la oblea - Recocido térmico por laser de la oblea También puede ser usada en el back-end de líneas de máquinas litográficas (alineadoras de máscaras) y en algunas aplicaciones de corte de la oblea (dicing). Esta plataforma tiene las siguientes prestaciones: - Planitud de movimiento dada por los rodamientos de aire - Rotación ilimitada en Theta - Doble integración en Z: Desplazamiento basto para carga/descarga, y fino para ajuste del foco - Compensador de gravedad en Z integrado (pendiente de patente) - La corrección de guiñada puede realizarse desviando ligeramente los motores Y1 e Y2 - Puede ser integrada adicionalmente con un sistema de aislamiento activo totalmente controlado por ETEL - Los recorridos en X e Y pueden ser prolongados con algunas limitaciones de prestaciones Especificaciones - Carrera total: 321 mm para XY x 12 mm para Z - Velocidad: 1,2 m/s para XY, 0,1 m/s para Z y 15,7 rad/s para T - Aceleración: 1,2 g para XY, 0,2 g para Z y 104,7 rad/s 2 para T - Estabilidad de posición: ±25 nm para XY, ±15 nm para Z y ±0,2 arcsec para T - Repetitividad bidireccional: ±0,4 µm para XY, ±0,3 µm para Z y ±2 arcsec para T Solicite el Manual de Integración correspondiente para más información.

Una nueva solución para el aislamiento de vibraciones El Sistema de Aislamiento Activo QuiET es un nuevo módulo que cancela las vibraciones tanto de la plataforma como del suelo en 6 Grados de Libertad (6 GL), evitando que perturben el proceso que tiene lugar encima de su plataforma de movimiento. La mayoría de las veces, las aplicaciones de alta gama en la industria del semiconductor incorporan configuraciones de equipos complejos que, de un modo u otro, están conectados al granito de la plataforma de movimiento. Por definición, cualquier vibración en el lado del granito se traduce en imprecisiones y tiempos de fijación de posición más largos en el lado de la herramienta del proceso. Gracias a la solución de ETEL, librarse de esas vibraciones ¡nunca se ha hecho con tanta eficacia! ¡Llevando las prestaciones de movimiento al siguiente nivel! La Serie QuiET lleva un paso más allá la estrategia de Integración hacia delante de ETEL. A partir de ahora, una plataforma de movimiento avanzada de ETEL no solo incluye el sistema de movimiento y sus controladores de vanguardia asociados, sino que puede beneficiarse también de su exclusivo módulo aislamiento activo. ¡Esto convierte a ETEL en el único Proveedor de Sistemas de Movimiento del mundo ofreciendo tan amplio alcance de suministro! Gracias a su exclusivo sensor de bajo ruido y a su homogénea, totalmente digital y determinística arquitectura de control de movimiento basada en TransnET 1 Gb, ETEL reduce el movimiento y tiempo de fijación de posición a valores sin precedentes. Con una precisión de prealimentación de aceleración alcanzando más del 99%, ¡menos del 1% de la energía generada por el movimiento de la plataforma permanece en el lado del granito! La masa del granito en el sistema de aislamiento activo puede por tanto mantenerse pequeña, lo que a su vez reduce el tamaño y masa total, mientras que los útiles de proceso se benefician directamente de un entorno con menor vibración. Modular, escalable y utilizable La Serie QuiET se ha diseñado para ser altamente modular y escalable. Gracias a un listado de componentes activos y pasivos preseleccionados, ¡ETEL puede encontrar rápidamente la solución óptima que se acomode a sus necesidades! Los elementos de resorte, actuadores de Lorentz y los sensores exclusivos se insertan dentro de una arquitectura de sándwich que se personaliza entonces para cubrir cualquier requerimiento del sistema y facilita su servicio una vez instalados. Los controladores del módulo QuiET y los de la plataforma de movimiento son todos controladores AccurET estándar y pueden colocarse en el mismo rack o armario eléctrico. Herramienta de puesta en marcha Se dispone de un intuitivo interfaz gráfico de usuario. Admite cualquier tipo de configuración de plataforma e incluye: - Ajuste automático de los parámetros de prealimentación - Identificación del sistema - Capacidades de nivelación integradas

Este actuador, AQUARIUS, puede ser utilizado en cualquier aplicación donde se requiera fuerza, rendimiento, larga vida útil y fiabilidad, junto con un factor de forma pequeño. Es especialmente apropiado cuando se requiere un eje Z independiente para manipuladores para comprobación. Especificaciones - Recorrido total: 11,4 mm - Fuerza de pico: 120 N - Fuerza continua: 29,5 N - Velocidad hasta 1 m/s - Aceleración hasta 30 g Para más información solicitar el correspondiente manual de integración .

AccurET: una familia de controladores de posición de altas prestaciones Los controladores de posición AccurET cubren un amplio rango de tensión y niveles de corriente en una solución compacta. Esto hace que la integración de varios servomotores en una única máquina sea muy fácil. Su diseño modular hace de los controladores de posición AccurET una solución muy compacta: - Cada controlador puede accionar dos ejes y se puede usar una única fuente de alimentación para varios AccurET, compartiendo la misma tensión de bus DC. - Se puede insertar una tarjeta opcional en un AccurET, tal como el controlador de movimiento UltimET o la tarjeta de E/S. - No requiere armario en rack, haciendo que el volumen requerido dependa únicamente del número de ejes a accionar. - Los cableados de potencia y comunicación simplificados, así como la unidad de refrigeración modular, hacen que la instalación de la máquina y el mantenimiento sean fáciles de realizar. Los fabricantes de máquinas apreciarán este diseño: económico, compacto, integración rápida, y fácil de sustituir en campo. Véase el catálogo Motion Control o solicite el manual técnico correspondiente para más información.

ComET: Herramienta de puesta en marcha ComET es un interfaz de fácil manejo para el mantenimiento y puesta en marcha de controladores de posición y de movimiento de ETEL. El interfaz ComET le guía paso a paso a través del proceso de ajuste de su sistema de movimiento. El completo auto-ajuste ofrece un juego inicial de parámetros para controlar motores y sistemas, haciendo que la puesta a punto sea rápida y sencilla: - Conectar los controladores de posición y movimiento ETEL y seleccionar el encoder y el motor utilizado. - Sus características serán cargadas automáticamente permitiendo el ajuste de la señal del encoder, gracias al entorno gráfico Lissajoux. - Escoger el modo buscador y su perfil de movimiento en ComET. Hacer clic sólo una vez para ejecutar el proceso de puesta a punto automática: esto reduce el tiempo de puesta en marcha de forma espectacular. - Esto es todo lo que cuesta instalar su controlador de movimiento con ComET! Una vez completado, el cliente puede utilizar herramientas avanzadas para ajustar las protecciones del sistema o poner a punto de forma satisfactoria cualquier otro parámetro. Las herramientas avanzadas ayudan al cliente a alcanzar el mayor rendimiento de su diseño mecánico: - La herramienta de identificación le ayuda con el análisis del comportamiento del sistema: puede comprobarse la inmunidad del sistema frente a perturbaciones ayudando al usuario a optimizar el diseño de la máquina durante la fase de desarrollo, o el juego de parámetros en la etapa de fabricación para mejorar la fiabilidad de la máquina. - El visor multiejes puede registrar y visualizar la posición, corriente, velocidad o cualquier valor físico, dando soporte en la puesta a punto satisfactoria del sistema en el desarrollo en la fase de mantenimiento. - ComET incluye también un entorno de programación de tal manera que los fabricantes de máquina puedan testear, implementar, compilar y descargar secuencias de movimiento tanto en AccurET como en UltimET Light. Véase el catálogo Motion Control o solicite el manual técnico correspondiente para más información.

La interfaz para dispositivos de ETEL (ETEL Device Interface = EDI) es una librería que permite la comunicación entre el sistema de control de movimiento de ETEL y la aplicación del cliente: - Grupo de funciones que permiten al usuario acceder a la funcionalidad de todos los productos ETEL - Librerías para C, interfaz C++, .C# (.NET Framework 4) - Compatible con Windows 7/8/10 (32 & 64 bits) / RTX 2012 Véase el catálogo Motion Control o solicite el manual técnico correspondiente para más información.

La gama rotativa DynX es una familia de ejes de posicionamiento rotativo de precisión. Con un rango de productos que combina 3 diámetros diferentes, la gama rotativa DynX es la solución estándar ideal para todas las aplicaciones donde se requiere una alta fiabilidad, precisión extraordinaria, bajo mantenimiento y fácil integración. El producto rotativo DynX se suma de forma perfecta a los lineales. No se requiere ninguna placa de montaje para conectar los ejes lineales y los rotativos, resultando un diseño compacto, altamente rígido, y unas soluciones apiladas de precisión. Las etapas rotativas están equipadas con tecnología de motores sin dientes, proporcionando un movimiento suave, ideal para aplicaciones de estabilidad a alta velocidad. Están disponibles grandes ejes huecos para acomodar los cables y los tubos de los clientes. Características - 3 diámetros diferentes: 100 / 155 / 225 mm - Tecnología de motor sin dientes (sin "cogging") para estabilidad a alta velocidad - Perfil bajo / Masa baja para aplicaciones de alta precisión - Encoder óptico sin contacto de alta precisión - Posibilidades de recorrido angular limitado de 20 a 390 - Gran eje hueco para una máxima flexibilidad - Regla angular para el proceso de puesta en marcha - Opciones y accesorios disponibles, tales como carreras limitadas, purga de aire, y alargaderas de cables. Principales prestaciones - Repetitividad bidireccional ±1,5 arcsec a ±3 sigma - Precisión de posición - hasta ±30 arcsec (sin calibración) - hasta ±3 arcsec después de la calibración - Velocidad hasta 400 rpm - Estabilidad en posición ±0,2 arcsec - Estabilidad a alta velocidad Solicite el Manual de Integración correspondiente para más información.

La Serie RTMBi es una familia de platos divisores de alta precisión con 5 longitudes activas distintas. Al incorporar motores torque de ETEL, los RTMBi se benefician de la mejor constante de motor del mercado (Nm/?W), permitiendo altas aceleraciones durante la indexación con la mínima disipación de potencia. Los RTMBi son la solución estándar ideal para aquellas aplicaciones que requieran alta repetibilidad y tiempos de indexado cortos. Esta solución de accionamiento directo permite ciclos de alta carga, alta dinámica, sobresaliente precisión, bajo mantenimiento y facilidad de integración. Una solución única de rodamiento con encoder proporciona a los RTMBi el ratio de par a volumen más alto del mercado. Para acomodar los cables y tubos del cliente se dispone de un eje hueco de tamaño optimizado. Por separado, o combinado con los actuadores de corto recorrido y los controladores ETEL con control de fuerza, el RTMBi es la solución perfecta para aplicaciones de back-end en semiconductores, electrónica, automatización, o impresión, tales como comprobadores de MEMs, die bonders, comprobadores tipo pick and place o torreta, ¡y más! Características - Mesas rotativas para aplicaciones de indexación de alta dinámica - 5 alturas diferentes - Alta relación entre par y altura - Elevadas prestaciones dinámicas - Gran eje hueco para una máxima flexibilidad - Tecnología de motores torque TMB proporcionando un alto nivel de par - Compatible Semi S22. RTMBi vs. RTMB - Par de continua mejorado hasta en un 20% - Pares de pico mejorado hasta en un 8.5% - Inercia reducida en hasta un 20% - Compatibilidad con 600 VDC - Mismo interfaz mecánico Especificaciones - Repetitividad bidireccional ±3 arcsec a ±3 sigma - Precisión de posición - ±20 arcsec (sin mapeado) - ±6 arcsec (con mapeado) - Velocidad hasta 1.200 rpm Solicite el Manual de Integración correspondiente para más información.

La caja ZT es un módulo con dos grados de libertad, en Z y Theta, en una sola unidad. Hay dos actuaciones posibles sobre la dirección Z, una amplia y una fina. Se puede utilizar de forma separada o montada sobre una plataforma XY. Este módulo es especialmente apropiado para aplicaciones de control de proceso de obleas tales como metrología de capa fina, dimensiones críticas, etc. Características - Giro infinito - Suministro de vacío integrado a nivel de mordaza - Compensador de gravedad integrado - Compatible con salas limpias ISO1 gracias a succión por vacío - Eje Z con amplio recorrido de 12 mm para carga/descarga y recorrido fino de 4 mm para ajuste de foco - Versión sin Z amplio posible - Muy buen jitter Z, así como desplazamiento y fijación de posición Especificaciones - Repetitividad bidireccional ±0,3 µm para Z y ±2 arcsec para T - Precisión en posición: ±0,6 µm para Z y ±30 arcsec para T - Velocidad hasta: 0,1 m/s para Z y 15,7 rad/s para T - Aceleración hasta: 0,2 g para Z y 104,7 rad/s² para T - Estabilidad en posición: ±5 nm para Z y ±0,2 arcsec para T - Capacidad de carga: 1 kg Solicite el Manual de Integración correspondiente para más información.

El IMTHP protege los motores torque ETEL contra sobrecalentamientos. A la vez, permite al usuario alcanzar el límite térmico del motor manteniendo un nivel de seguridad aceptable. - Monitorización precisa de la temperatura para evitar sobrecalentamientos incluso en operaciones de motor exigentes (por ejemplo control en parado). - Los retrasos intrínsecos en la medición de temperatura se compensan por software para obtener una monitorización en tiempo real auténtica - La información completa de la temperatura del motor se facilita al usuario mediante: - 1 x señal KTY analógica - 1 x señal digital de alarma - 1 x señal digital de error Solicite el manual de motores torque para más información.

Tras décadas de presencia mundial en la máquina-herramienta con motores torque de tecnología punta, ETEL presenta el nuevo motor torque TMB+. TMB+ es una evolución del renombrado TMB, que combina un aumento de prestaciones y nuevas propiedades, a la vez que mantiene la interfaz de los motores existentes. De hecho, la densidad de par en los TMB+ aumenta en hasta un 20% con exactamente el mismo tamaño y reduce las pérdidas de potencia en hasta un 30%. El rango de velocidad también se extiende significativamente. El TMB+ permite ampliar las prestaciones de las máquinas y permite que lleguen a nuevos procesos, sin ningún esfuerzo de rediseño. Con su destacado nivel de prestaciones, el TMB+ dará acceso a la tecnología de accionamiento directo a más aplicaciones, manteniendo al mismo tiempo la calidad y fiabilidad en sus niveles más altos y reduciendo el coste de propiedad. Todas las variantes del TMB+ están disponibles con camisa de refrigeración opcional. Consiste en una camisa metálica montada con gran precisión, la cual asegura la estanqueidad frente a agua y garantiza exactamente las mismas prestaciones del motor que con el montaje convencional de "refrigeración abierta". Existen dos tipos diferentes de camisa de refrigeración para adaptarse a cuaqluier diseño de máquina: con entrada/salida de agua radial/axial. Características - Más de 60 tamaños estándar disponibles - Recubrimiento niquelado en estator y rotor - Canales de refrigeración por agua - Tensión de bus 600 VDC - Muy alta densidad de par continuo - Alto par de pico - Bajo rizado de par - Compatible con módulo IMTHP para un control térmico preciso Especificaciones - Diámetro exterior hasta 1.290 mm - Gran eje hueco hasta 1.070 mm - Par de pico hasta 42.900 Nm - Velocidad hasta 4.590 rpm Véanse las correspondientes especificaciones y catálogo o solicitar el manual de motores torque para más información.

El DXR+ es un módulo rotativo que presenta un diseño compacto, ligero, un amplio eje hueco, y que ofrece el ratio de coste a prestaciones apropiado para apliciaciones de gama media en semiconductor y electrónica. El DXR+ aporta importantes mejoras en términos de rigidez que tienen un impacto directo en el ancho de banda de regulación de la etapa XY que lo soporta. Puede operarse con tensiones de bus de 48 VDC hasta 300 VDC. Puede regularse con un AccurET modular 48 o 300, o por un AccurET VHP para requerimientos de mayor estabilidad de posición. Al igual que el resto de módulos estándar de ETEL (ZT, Z3TH, RTTB), el DXR+ puede montarse sobre cualquier plataforma XY estándar. El DXR+ es un módulo de un grado de libertad que permite un desplazamiento angular ilimitado. Como opción, el recorrido puede limitarse a segmentos angulares aproximadamente múltiplos de 60°. El nivel de limpieza de un DXR+ va desde ISO 5 hasta ISO 1 bajo condiciones específicas. El módulo DXR+ proporciona una solución adecuada para hacer frente a cualquier aplicación que requiera: - Suavidad de movimiento - Estabilidad de posición en rangos de 100 nm en radios de 150 mm El uso de este módulo es adecuado para, entre otras aplicaciones: - control de proceso de obleas, corte de obleas - trazado de obleas - recocido por láser - fabricación de células fotovoltaicas - etc. Características - Diámetro: 155 mm - Tecnología de motor sin dientes (sin "cogging") para alta estabilidad de velocidad - Perfil / masa reducidos para aplicaciones de alta precisión - Encoder óptico sin contacto de alta precisión - Posibilidades de recorrido angular ilimitadas - Amplio eje hueco: 44 mm - Suministro de vacío en el porta-herramientas - Compatibilidad con sala limpia ISO clase 5, con posibilidad de alcanzar ISO clase 1 Especificaciones - Repetitividad bidireccional ±2 arcsec a ±3sigma - Precisión de posición - hasta ±30 arcsec (sin calibración) - hasta ±3 arcsec tras calibración - Velocidad hasta 400 rpm - Estabilidad de posición ±0,2 arcsec - Capacidad de alta estabilidad de velocidad Solictiar el Manual de Integración correspondiente para más información.

Plataformas apiladas CHARON2 La plataforma CHARON2 está construida sobre una arquitectura robusta, fiable y elegantemente apilada, diseñada teniendo en cuenta los principios de modularidad y escalabilidad. Se parte de un eje X autónomo hasta un sistema de movimiento completo de hasta 7 ejes; las prestaciones de las hojas de datos están disponibles con diferentes configuraciones electrónicas. Su compatibilidad con los módulos y opciones actuales y futuros permite cubrir el más amplio espacio de aplicación y casos de uso. Esta plataforma flexible, escalable, modular y actualizable ofrece un nivel de entrada a todas las aplicaciones de semiconductores y muchos casos de uso de otros mercados, por ejemplo, el médico, el farmacéutico, la ciencia de los materiales y otros. En continua evolución en todos los mercados atendidos, CHARON2 soporta la extensión de la vida útil de los productos de los OEM, así como las rutas de actualización. Con décadas de operaciones ininterrumpidas comprobadas en el campo y grandes volúmenes de fabricación de esta arquitectura, CHARON2 representa el punto de entrada más flexible para soluciones de movimiento llave en mano y establece un nuevo récord en la relación precio-rendimiento. Esta plataforma surge de los requisitos OEM anticipados y alineados que se cumplen inmediatamente con otro producto optimizado, reduciendo los costes de integración OEM y los esfuerzos de comercialización, así como mejorando la relación precio/rendimiento. La plataforma CHARON2 representa la oferta más amplia disponible en el mercado. Su precisión de posición de ±1 µm de nivel, junto con una excelente repetibilidad bidireccional y una alta dinámica, sustenta el desarrollo de aplicaciones en todos los campos de la tecnología y la industria. Desde esta plataforma se originan configuraciones de productos estándar, para su integración inmediata, y soluciones personalizadas, que se adaptan a las necesidades de rendimiento. CHARON2 sigue siendo otro ejemplo perfecto de la integración vertical ETEL, basada en la propiedad IP de los motores, la electrónica y el know-how de control, y de la sinergia con HEIDENHAIN en lo que respecta a la retroalimentación de la precisión de posicionamiento de primera clase. Características - Carrera total : hasta 650 mm x 410 mm - Disponible en 9 estándares x 2 electrónicas = 18 configuraciones como productos de venta al público - Tamaño compacto - Carga útil hasta 30 Kg. - Opciones y características incluidas: rieles de succión de partículas (patente ETEL), señales personalizadas, líneas neumáticas y más. - Compatibilidad con salas blancas ISO1 - Corrección de inclinación con el módulo combinado Z3TM - Suministro de vacío incorporado a nivel del mandril - Tiempos de traslado y liquidación cortos Translated with DeepL

For the most demanding applications, ETEL developed a unique Very High Performance position controller range called AccurET VHP. This range of product is equipped with both specific hardware and software that maximizes the performance. AccurET VHP position controllers are compatible with all the other AccurET controllers and can be dedicated to the most demanding axes of a multi-axis motion system. In fact, it is the same decentralized architecture as used in the AccurET modular. This allows an important part of the machine control software to be located at the axis level. In addition to the benefits of ETEL controllers such as high computation power, fast and real-time communication bus and state of the art control algorithms, ETEL’s VHP range is providing outstanding signal to noise ratio. AccurET VHPs are successfully used in areas such as : Process control Wafer inspection Lithography Wafer and die level packaging Test and control equipment

TELICA es una plataforma multieje dedicada principalmente a aplicaciones back-end de semiconductores. Su arquitectura de doble pórtico proporciona movimiento a lo largo de 3 grados de libertad, X, Y y Z, para un total de 8 ejes controlados. Está diseñado para cumplir con los requisitos más exigentes de los procesos avanzados de unión de matrices (Flip-chip, Fan-out, paquetes apilados en 3D), unión µ-LED, aplicaciones de dispensación y más. Por diseño, las arquitecturas de sistemas de movimiento convencionales están optimizadas tanto para una alta precisión de posicionamiento como para un alto rendimiento. Gracias a una arquitectura de sistema de movimiento muy innovadora, TELICA se reúne AMBOS SIMULTÁNEAMENTE con una precisión de colocación global de ±1 µm (movimiento ciego) a un rendimiento de 10 kUPH para una aplicación típica de adhesión de matriz de flip chip y de hasta 180 kUPH para la adhesión de µLED. Sistema de movimiento de doble pórtico TELICA TELICA está disponible en dos variantes estándar: la variante 1 para paquetes de nivel de oblea (WLP) con recorridos X410 x Y445 x Z30 mm y la variante 2 para paquetes de nivel de panel (PLP) con recorridos X750 x Y800 x Z30 mm. TELICA introduce un nuevo enfoque metrológico que reduce drásticamente los errores de Abbé, así como el desajuste de posicionamiento relativo entre la herramienta de proceso y el sustrato. Los encoders multidimensionales aseguran la alta precisión de colocación, mientras que los motores Ironcore refrigerados por agua permiten ciclos de trabajo extremos. Junto con los controladores AccurET de ETEL, la plataforma TELICA se beneficia de múltiples características de control tales como: tiempo de estabilización cero, control no lineal, filtros avanzados de avance y trayectoria, sincronización completa de todos los ejes con jitter de nanosegundos, un algoritmo específico de control de pórtico, mapeo multidimensional, capacidades avanzadas de disparo basadas en la posición real mapeada, herramientas avanzadas de diagnóstico por software e identificación de sistemas para la optimización del control. Especificaciones ±Precisión de colocación local de 350 nm (movimientos con alineación local) ±Precisión de colocación global de 1 µm (movimientos ciegos)

VULCANO2 es una arquitectura de ejes apilados de pórtico basada en un rodamiento mecánico acoplado a codificadores ópticos de alta gama. El uso de los renombrados motores con núcleo de hierro ETEL, junto con los innovadores principios de diseño, permite alcanzar altas dinámicas a niveles de rendimiento geométrico y de movimiento muy mejorados. Centrada en facilitar las aplicaciones de semiconductores, la plataforma sigue siendo adecuada para todos los diversos mercados y necesidades que requieren soluciones para una mayor dinámica; de hecho, incluso su mejor huella en su clase sobresale para maximizar su propuesta de valor de Coste de Propiedad global. Los clientes que deseen alcanzar un mayor rendimiento, ciclos de trabajo o servir cargas útiles más pesadas sin pérdida de repetibilidad o de precisión, pueden adoptar con confianza un VULCANO2 estándar o una solución personalizada derivada. El VULCANO2 representa también una solución perfecta para todos los casos de uso en los que la dinámica, los ciclos de trabajo y las cargas útiles no son tan rigurosos, aunque la precisión de posicionamiento debe establecerse durante tiempos muy largos: ofrecer varias horas de precisión de navegación en el nivel U ya no es un sueño, sino una sólida realidad de esta nueva oferta de ETEL. El uso de esta plataforma es adecuado para, pero no limitado a: - Aplicaciones de control de procesos de obleas como la metrología de superposición, la medición crítica - Metrología dimensional y de película delgada - Back-end: procesos de flip-chip realizados en grandes paneles/sustratos Características - Tamaño compacto - Carga útil hasta 80 kg - Estabilidad de la posición del nivel del nanómetro - Alta dinámica - Excelente repetibilidad bidireccional y estabilidad de posición - Compatibilidad con salas limpias ISO 2 Translated with DeepL

El Z3TM está ampliando la cartera de módulos que sirven a las plataformas de movimiento. Este módulo añade cuatro grados de libertad independientes, a saber, a lo largo de un eje rotativo, uno vertical y dos oblicuos. Por su diseño, este módulo opcional permite el cumplimiento completo de los perfiles de movimiento de las obleas para aplicaciones avanzadas de semiconductores, proporcionando así a los OEM una solución llave en mano para cualquier tecnología de semiconductores. La compacidad del producto establece una densidad récord en términos de número de funciones por volumen, mientras que su rendimiento establece nuevos estándares de mercado para las precisiones y la dinámica del nivel de oblea. El Z3TM permite la migración de los OEMs desde soluciones piezoeléctricas costosas y obsoletas, eliminando sus problemas de histéresis mientras que soporta una resolución, precisión y repetibilidad a nivel nanométrico, a una dinámica aún más alta. Con el soporte incorporado para la correcta alineación de la muestra, el módulo permite entonces un mayor control de la planitud de las obleas, con respecto a los cabezales del equipo, mediante sus ejes adicionales de "punta" e "inclinación". Esta funcionalidad única permite a los usuarios con un nivel siguiente de controles de proceso, por ejemplo, la planitud, el ángulo de incidencia nominal (AOI), la rectitud del plano focal y muchos más, todo lo cual da como resultado una oportunidad sin precedentes para obtener un rendimiento de nivel de oblea mediante la técnica OEM. Hoy en día los adoptadores no sólo simplifican sus esfuerzos de diseño para una mayor precisión, sino que también materializan reducciones drásticas en la complejidad de los equipos, la fiabilidad, los esfuerzos de integración y el coste global, permitiendo así un tiempo de comercialización mucho más rápido con una mejor relación calidad-precio. La adición del Z3TM es el resultado de la continua innovación e integración vertical de ETEL, basada en la propiedad intelectual de los motores, la electrónica y el know-how de control, y la sinergia con HEIDENHAIN en relación con la retroalimentación de la precisión de posicionamiento de clase mundial. Características - Rotación Theta infinita - Corrección de la inclinación y la inclinación sobre ±0,08° para la nivelación y para la mejora del movimiento y el asentamiento - Alimentación por vacío hasta el nivel del mandril - Compatibilidad con salas limpias ISO clase 2 - Escurrimiento radial de ±3.5 µm Translated with DeepL

El UltimET Advanced es un potente y versátil controlador de movimiento multieje que refuerza la actual cartera de productos de la familia UltimET de gama alta. Con el UltimET Advanced, ETEL no solo aporta un controlador de movimiento con un rendimiento intrínseco excepcional, sino que también aporta al mercado un alto nivel de flexibilidad en el control de sistemas de movimiento avanzados con estrategias que se pueden configurar de forma muy precisa para satisfacer las necesidades específicas de diversas aplicaciones. Translated with DeepL

El DXRH es la última incorporación a las soluciones de ejes rotativos de ETEL. Se trata de un eje rotativo de 1 DOF basado en rodamientos mecánicos que ofrece un rendimiento excepcional en términos de exactitud y precisión. Con un codificador de 360.000 líneas y unas características mecánicas inigualables, directamente comparables con las soluciones de cojinetes de aire sin la complejidad asociada, el DXRH se sirve en su corazón de la mejor tecnología de codificadores y cojinetes de HEIDENHAIN, y de un motor sin dientes con tecnología de accionamiento directo de ETEL sin ninguna ondulación de par. Totalmente compatible con las interfaces estándar de ETEL, el módulo DXRH está disponible como módulo independiente o integrado en la cartera de sistemas de ETEL. También proporciona una vía de mejora del rendimiento para todas las aplicaciones basadas en DXR+ sin necesidad de rediseñarlas, ya que las interfaces son idénticas. El módulo giratorio DXRH puede integrarse en las plataformas apiladas CHARON2 y VULCANO2. Aporta alta rigidez, alta precisión, alta exactitud, alto nivel de limpieza así como baja deformación inducida térmicamente gracias a su diseño en acero inoxidable. Centrado en facilitar las aplicaciones de semiconductores, el módulo sigue siendo adecuado para todos los mercados y necesidades diversas que requieren soluciones de rotación de alta precisión y exactitud. Adaptado a diversas aplicaciones e industrias, el módulo rotativo DXRH es especialmente adecuado para aplicaciones de control de procesos de obleas, como la metrología de superposición, la metrología de dimensiones críticas y de películas finas, así como la fotónica. Translated with DeepL

WINGLET es un software basado en PC, que se ejecuta en el sistema operativo Windows y está diseñado para funcionar con equipos controlados por la gama de controladores ETEL AccurET / UltimET. Este software es un software independiente y no reemplaza ni interactúa con ComET, el software tradicional de puesta en marcha de ETEL WINGLET está dirigido a un amplio espectro de usuarios activos en cualquier parte del recorrido que comienza en la fase de diseño en I + D y termina en el equipo del usuario final. A partir de un habilitador puro de rendimiento de máquina, WINGLET también brinda beneficios significativos para procedimientos de comprobación automatizados para el constructor, así como también ayuda a agilizar intervenciones de servicio en campo y resolución de problemas. WINGLET puede beneficiar a cada una de estas partes al ... - Acortar fases de diseño y aumentar el nivel de rendimiento de máquina; - Asegurar robustez y repetibilidad en la fabricación de equipos; - Proporcionar diagnósticos de máquina rápidos y precisos.

El AQUARIUS ST es la nueva generación de actuadores de carrera corta de ETEL dedicados principalmente a aplicaciones de manipuladores de torreta "Test & Scan". En comparación con la serie AQUARIUS predecesora, la serie ST permite una mayor repetibilidad del control de fuerza y ??un mayor rendimiento, lo que reduce el costo final de propiedad de la máquina. En esta aplicación, el tiempo de movimiento y asentamiento corto, así como la limitación de fuerza suave en los niveles bajos de fuerza, son parámetros clave que ahora se pueden cumplir con menos compromiso. La versión ST se ha optimizado mecánicamente, con un diseño totalmente simétrico y equilibrado, para garantizar el comportamiento en fricción a largo plazo. Este diseño evita variaciones no desadas en movimiento y establecimiento. El AQUARIUS ST puede entonces hacer frente a fuerzas nominales más pequeñas de hasta 0,5 N, mejorar la precisión de la fuerza, reducir drásticamente el sobrepico de fuerza y ??aumentar la aceleración. Tanto el sistema de medida como los conectores de alimentación están montados al final de los cables y son compatibles con el controlador de posición AccurET Modular 48. El uso de este actuador de carrera corta está orientado principalmente a las aplicaciones de final de linea de semiconducto manipulador de torreta de "comprobación final" en etapas posteriores de línea en fabricación de circuitos integrados. Mejorará el manejo de dispositivos semiconductores en procesos como "Recoger del recipiente/tubo/bandeja", "Transferir hacia/desde la mesa", "Contacto de comprobación", "Inspección visual", "Marcado láser" y "Colocar en cinta/tubo/bandeja". La versión ST no solo aumenta la propuesta de valor de los fabricantes de máquinas de los clientes, sino que, combinada con nuestra electrónica y software específico, aseguran que los chips fabricados se prueban y validan correctamente sin estrés.

El TUCANA ST es la nueva generación de actuadores de carrera corta de ETEL dedicados principalmente a aplicaciones de manipuladores de torreta "Test & Scan". En comparación con la serie TUCANA predecesora, la serie ST permite una mayor repetibilidad del control de fuerza y ??un mayor rendimiento, lo que reduce el costo final de propiedad de la máquina. En esta aplicación, el tiempo de movimiento y asentamiento corto, así como la limitación de fuerza suave en los niveles bajos de fuerza, son parámetros clave que ahora se pueden cumplir con menos compromiso. La versión ST se ha optimizado mecánicamente, con un diseño totalmente simétrico y equilibrado, para garantizar el comportamiento en fricción a largo plazo. Este diseño evita variaciones no desadas en movimiento y establecimiento. El TUCANA ST puede entonces hacer frente a fuerzas nominales más pequeñas de hasta 0,5 N, mejorar la precisión de la fuerza, reducir drásticamente el sobrepico de fuerza y ??aumentar la aceleración. Tanto el sistema de medida como los conectores de alimentación están montados al final de los cables y son compatibles con el controlador de posición AccurET Modular 48. El uso de este actuador de carrera corta está orientado principalmente a las aplicaciones de final de linea de semiconducto manipulador de torreta de "comprobación final" en etapas posteriores de línea en fabricación de circuitos integrados. Mejorará el manejo de dispositivos semiconductores en procesos como "Recoger del recipiente/tubo/bandeja", "Transferir hacia/desde la mesa", "Contacto de comprobación", "Inspección visual", "Marcado láser" y "Colocar en cinta/tubo/bandeja". La versión ST no solo aumenta la propuesta de valor de los fabricantes de máquinas de los clientes, sino que, combinada con nuestra electrónica y software específico, aseguran que los chips fabricados se prueban y validan correctamente sin estrés.

El RTMB+ es una familia de mesas de indexación de alta precisión propuesta con 2 diámetros diferentes, longitudes activas y bobinados por tamaño. Integrando motores de par de accionamiento directo ETEL TMB+, el RTMB+ se beneficia de la mejor constante de motor del mercado (Nm/?W) permitiendo una aceleración muy alta durante la indexación con una baja disipación de energía. Translated with DeepL

El TBS es un eje lineal de alta precisión con 1 grado de libertad. Se trata de un eje lineal de accionamiento indirecto basado en rodamientos mecánicos que ofrece un rendimiento excepcional en términos de exactitud y precisión en su categoría. El eje está controlado por un servomotor de alto rendimiento y bajo coeficiente de desgaste y utiliza un esquema de control de retroalimentación de doble codificador que, además de proporcionar un excelente rendimiento, simplifica su puesta en marcha. Translated with DeepL

ACCURET+: ULTIMAS PRESTACIONES EN CONTROL DE MOVIMIENTO La nueva ACCURET+ es sinónimo de máximo rendimiento, una demostración de la mejor tradición de ETEL en el control del movimiento. Los dos primeros miembros de la cartera son el ACCURET+100 y el ACCURET+300. Estos controladores son compatibles con todos los miembros de la familia AccurET con una gama más amplia de niveles de corriente en el mismo diseño modular. Este diseño facilita la integración de los controladores de posición ACCURET+ en la máquina y ofrece una solución muy compacta: - Cada controlador puede accionar dos ejes y se puede utilizar una sola fuente de alimentación para varios ACCURET+ que compartan la misma tensión de bus de CC. - Existe una versión de factor de forma más amplio que permite insertar tarjetas opcionales, como el controlador de movimiento ULTIMET LIGHT TCP/IP. - El cableado simplificado de alimentación y comunicaciones, así como una unidad de refrigeración compacta, facilitan la instalación y el mantenimiento de la máquina. - No es necesario ningún bastidor, por lo que el volumen necesario sólo depende del número de ejes accionados. Translated with DeepL

El Z3TM+ amplía la cartera de módulos al servicio de las plataformas de movimiento. Este módulo añade cuatro grados de libertad independientes, a saber, los ejes Tip, Tilt, Theta y Z incorporados en un eje hueco Theta ampliado. Una de las configuraciones incluye un eje Z que ahora cuenta con un doble eje Z apilado; uno fino (FZ) y otro grueso (CZ). Por su diseño, este módulo opcional permite el cumplimiento completo de los perfiles de movimiento de obleas para aplicaciones avanzadas de semiconductores, proporcionando así a los fabricantes de maquinaria una solución llave en mano para cualquier tecnología de semiconductores. El reducido tamaño del producto establece una densidad récord en términos de número de funciones por volumen, mientras que su rendimiento establece nuevos estándares de mercado en cuanto a precisión y dinámica a nivel de oblea.El eje Z fino del Z3TM+, basado en flexores, permite a los fabricantes de maquinaria migrar desde soluciones piezoeléctricas costosas y obsoletas, eliminando sus problemas de histéresis al tiempo que admite una resolución, precisión y repetibilidad de nivel nanométrico, a una dinámica aún mayor. Con soporte integrado para la correcta alineación de la muestra, el módulo permite un mayor control de la planitud de las obleas, con respecto a los cabezales del equipo, por medio de sus ejes adicionales de "punta" e "inclinación". Esta funcionalidad única permite a los usuarios un nivel superior de controles de proceso, por ejemplo, planitud, ángulo de incidencia nominal (AOI), rectitud del plano focal y muchos más, todo lo cual se traduce en una oportunidad sin precedentes para aprovechar a nivel de oblea las prestaciones de la tecnología del fabricante. Hoy en día, quienes adoptan esta técnica no sólo simplifican sus esfuerzos de diseño para obtener una mayor precisión, sino que además reducen drásticamente la complejidad de los equipos, la fiabilidad, los esfuerzos de integración y el coste global, lo que permite tiempos de comercialización mucho más rápidos con una mejor relación precio-rendimiento.La incorporación del Z3TM+ es el resultado de la innovación continua y la integración vertical de ETEL, basadas en la propiedad intelectual de los motores, la electrónica y los conocimientos de control, así como de la sinergia con HEIDENHAIN en lo que respecta a la precisión de posicionamiento de primera clase.

La plataforma CHARON2HD es la versión de alta dinámica de la familia CHARON2 existente. Utilizando configuraciones electrónicas dedicadas, están disponibles todas las combinaciones que van desde una simple etapa XY hasta un sistema de movimiento completo que comprenda 7 ejes. CHARON2HD se adapta a una amplia gama de aplicaciones y casos de uso gracias a su compatibilidad con todos los módulos y opciones actuales y futuros.Los miembros de la familia CHARON2HD están equipados con motores de núcleo de hierro más grandes que proporcionan la potencia necesaria para alcanzar un nuevo nivel de dinámica. La aceleración se ha duplicado hasta alcanzar los 20 m/s2, mientras que la velocidad máxima puede alcanzar los 2 m/s. Las interfaces de montaje son las mismas y permiten una intercambiabilidad directa con la plataforma apilada CHARON2 para proporcionar una vía de actualización.Con décadas de funcionamiento ininterrumpido en todas las condiciones y grandes volúmenes de fabricación de esta arquitectura, CHARON2HD representa el punto de entrada más flexible y dinámico para soluciones de movimiento llave en mano y establece un nuevo récord en la relación precio-rendimiento.Su precisión de posición de ±1 µm combinada con una excelente repetibilidad bidireccional y una elevada dinámica sustentan el desarrollo de aplicaciones en todos los campos tecnológicos e industriales.CHARON2HD sigue siendo otro ejemplo perfecto de la integración vertical de ETEL, basada en la propiedad intelectual de motores, electrónica y conocimientos de control, y en la sinergia con HEIDENHAIN en lo que respecta a la retroalimentación de precisión de posicionamiento de clase mundial.Características Recorrido total: up to 475 mm x 410 mm Footprint compacto Carga útil hasta 30 kg Opciones y funciones incluidas: succión de partículas de los raíles, señales personalizadas, líneas neumáticas, y más Compatible sala limpia ISO2 Corrección Tip-Tilt con el módulo combinado Z3TM+ Suministro de vacío integrado a nivel de sujeción Cortos tiempos de movimiento y asentamiento

TMC destaca por la combinación de un diseño magnético innovador y una concepción mecánica inteligente. Esto permite aumentar el par entre un 30% y un 120% en el mismo espacio ocupado por el estator que un TMB+, o bien reducir el motor en una o dos longitudes activas para crear una solución ultracompacta. Translated with DeepL

Experimente una estabilidad de proceso sin precedentes con el sistema de aislamiento activo QUIET, neutralizando las vibraciones del suelo y anulando las fuerzas de reacción del sistema de movimiento, asegurando un funcionamiento impecable de su máquina.En aplicaciones de semiconductores, la vibración puede afectar drásticamente a la precisión de la máquina y al rendimiento. La serie QUIET de ETEL revoluciona esta situación, aumentando nuestra Estrategia de Integración Avanzada mediante la integración perfecta de sistemas de movimiento avanzados y controladores de última generación con nuestro módulo de aislamiento activo patentado. Esta completa solución minimiza los tiempos de movimiento y asentamiento, aprovechando una arquitectura de control digital única para anular las fuerzas de reacción y mantener la precisión del proceso.Con su diseño modular acoplado a los controladores AccurET estándar, la Serie QUIET ofrece una adaptabilidad y fiabilidad sin precedentes, prometiendo un rendimiento óptimo adaptado a sus requisitos. Translated with DeepL