CHARON2 es un nuevo sistema apilado XY orientado a semiconductor, compatible hacia atrás con los módulos y opciones existentes. El diseño CHARON2 extiende el uso de CHARON hacia los casos de mayores dinámicas y cargas, con mejoras en precisión y repetibilidad. Superando aceleraciones de 1 g y velocidades de 1 m/s con el doble de carga, a la vez que proporcionando una precisión de posicionamiento por debajo de 1 µm, CHARON2 representa la solución de movimiento llave en mano para aplicaciones de semiconductor e iniciativas de extensión de tiempo de vida de vanguardia.
CHARON2 representa otro ejemplo perfecto de integración vertical de ETEL, basado en sus propios diseños de motor, tecnología electrónica y de control, y sinergia con HEIDENHAIN en cuanto a sistemas de medición de posición de liderazgo mundial. El resultado es una amplia familia de soluciones que cumplen las necesidades de posicionamiento de obleas de cualquier constructor, bien de proceso o de control de proceso, y desde un núcleo XY hasta un sistema completo de hasta 9 ejes controlados independientemente.
CHARON2 surge de los requisitos de constructor anticipados y alineados, satisfechos inmediatamente con un nuevo producto optimizado, reduciendo costes de ingeniería, fabricación y comercialización.
Características
- Recorrido total: hasta 650 mm x 410 mm
- Compatible sala limpia ISO 2
Especificaciones
| Descripción | X (inferior) | Y (superior) | Theta |
| Precisión de posicionamiento | ±1 µm | ±1 µm | ±3 arcsec |
| Estabilidad de posicionamiento | ±2 nm | ±2 nm | ±0.02 arcsec |
| Repetibilidad bidireccional | ±0.4 µm | ±0.4 µm | ±2 arcsec |
| Carga máxima | 30 kg |
Solicitar el Manual de integración correspondiente para más información.
| CHARON2 XY 0475 x 0410 | Hoja de datos (pdf) | Plano dimensional (pdf) | Bajo pedido |
| CHARON2 XYT (DXR+) 0475 x 0410 | Hoja de datos (pdf) | Plano dimensional (pdf) | Bajo pedido |
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