El Z3TM está ampliando la cartera de módulos que sirven a las plataformas de movimiento. Este módulo añade cuatro grados de libertad independientes, a saber, a lo largo de un eje rotativo, uno vertical y dos oblicuos. Por su diseño, este módulo opcional permite el cumplimiento completo de los perfiles de movimiento de las obleas para aplicaciones avanzadas de semiconductores, proporcionando así a los OEM una solución llave en mano para cualquier tecnología de semiconductores. La compacidad del producto establece una densidad récord en términos de número de funciones por volumen, mientras que su rendimiento establece nuevos estándares de mercado para las precisiones y la dinámica del nivel de oblea. El Z3TM permite la migración de los OEMs desde soluciones piezoeléctricas costosas y obsoletas, eliminando sus problemas de histéresis mientras que soporta una resolución, precisión y repetibilidad a nivel nanométrico, a una dinámica aún más alta. Con el soporte incorporado para la correcta alineación de la muestra, el módulo permite entonces un mayor control de la planitud de las obleas, con respecto a los cabezales del equipo, mediante sus ejes adicionales de "punta" e "inclinación". Esta funcionalidad única permite a los usuarios con un nivel siguiente de controles de proceso, por ejemplo, la planitud, el ángulo de incidencia nominal (AOI), la rectitud del plano focal y muchos más, todo lo cual da como resultado una oportunidad sin precedentes para obtener un rendimiento de nivel de oblea mediante la técnica OEM. Hoy en día los adoptadores no sólo simplifican sus esfuerzos de diseño para una mayor precisión, sino que también materializan reducciones drásticas en la complejidad de los equipos, la fiabilidad, los esfuerzos de integración y el coste global, permitiendo así un tiempo de comercialización mucho más rápido con una mejor relación calidad-precio. La adición del Z3TM es el resultado de la continua innovación e integración vertical de ETEL, basada en la propiedad intelectual de los motores, la electrónica y el know-how de control, y la sinergia con HEIDENHAIN en relación con la retroalimentación de la precisión de posicionamiento de clase mundial. Características - Rotación Theta infinita - Corrección de la inclinación y la inclinación sobre ±0,08° para la nivelación y para la mejora del movimiento y el asentamiento - Alimentación por vacío hasta el nivel del mandril - Compatibilidad con salas limpias ISO clase 2 - Escurrimiento radial de ±3.5 µm Translated with DeepL