Pórtico de inspección doble XYZ para semiconductores Personalizable
Este sistema de inspección consta de cuatro ejes de sala blanca;Rango de recorrido muy amplio de 2 x 720 x 720 x 100 mm • Permite la integración de dos procesos simultáneamente
Este sistema de inspección consta de cuatro ejes de sala blanca y permite la medición automatizada de varios objetos simultáneamente. Se consigue una alta dinámica y la máxima reproducibilidad. Una cámara o sensor de alta resolución por lado se desplaza con respecto a la muestra para comprobar geometrías, realizar mediciones y documentar características especiales de calidad.
Especificaciones - Carrera: 2 x cada uno 720 x 720 x 100 mm - 2x ejes X cada uno para escáneres / microscopios de hasta 25 kg - 2x ejes Y cada uno para mandriles de hasta 23 kg / obleas de hasta 12" / 300 mm - Precisión de repetición: 1.5 – ± 0.3 µm - Velocidad: 750 – 1500 mm (XY) / 150 – 300 (Z) - Max. Carga: 150 N (XY) / 200 N (Z) - Accionamiento: motor lineal (sin hierro), raíl perfilado (XY) | husillo a bolas, servo AC (Z) - Retroalimentación: sistema de medición lineal, encoder del motor - Controlador de movimiento: FMC-250/280, ACS, integración PLC - Clase de sala limpia: ISO 2
Opciones personalizadas: - Ampliación de los grados de libertad para movimientos XYZ-Rx-Ry-Rz - Búsqueda de soluciones individuales con diseño 3D para la tarea de posicionamiento - Bastidor con aislamiento antivibraciones, envolvente, concepto de seguridad - Conexiones para cubiertas de aspiración y de cinta circulante - Ampliación de los grados de libertad para movimientos XYZ-Rx-Ry-Rz - Búsqueda de soluciones individuales con diseño 3D para la tarea de posicionamiento.
Translated with DeepL
Sistema de posicionamiento de 8 ejes / goniómetro Personalizable
• Inspección automatizada de 8 ejes desde diferentes ángulos • Sistema de rotación coaxial que gira las cámaras / sensores / iluminación alrededor de un centro común • Ideal para inspeccionar pantallas
Este sistema de posicionamiento de 8 ejes permite analizar e inspeccionar diversas geometrías de muestras y otras piezas. Ambas cámaras / sensores pueden girarse sobre la muestra y ajustarse en altura. Además, el portamuestras puede inclinarse en paralelo a la superficie de medición para compensar las diferencias entre las distintas muestras. Gracias al posicionamiento XY Rz, la muestra puede evaluarse desde cualquier ángulo en el comportamiento de radiación espacial mediante la cámara personalizada.
Especificaciones - Carrera: 3° x 3° x 365° x 365 mm x 100 mm x 100 mm x 230 mm x 45° x 45° - Repetibilidad: 0,005 - 0,007° / 2 - 4,4 µm - Velocidad: 10 – 60 mm/s - Max. Carga: 50 - 250 N - Accionamiento: mauell, correa (Rxj, Ryj) / motor paso a paso, husillo a bolas (XYZ) / motor paso a paso, correa (Ry1, Ry2) - Motion Controller: FMC400/450, ACS, integración PLC
Opciones personalizadas: - Adaptación al proceso, portamuestras, cabezal / sensor - Versiones para sala blanca ISO 14644-1 (hasta clase 1 bajo pedido) - Rack, aislamiento de vibraciones, envolvente, concepto de seguridad - Conexiones para el control del proceso; - Ampliación de los grados de libertad para movimientos XYZ-Rx-Ry-Rz - Búsqueda individual de soluciones con diseño 3D para la tarea de posicionamiento - Bastidor con aislamiento antivibraciones, envolvente, concepto de seguridad - Conexiones para cubiertas de aspiración y de cinta giratoria - Ampliación de los grados de libertad para movimientos XYZ-Rx-Ry-Rz - Búsqueda individual de soluciones con diseño 3D para la tarea de posicionamiento.
Translated with DeepL
Pórtico XYZ para aplicaciones altamente dinámicas Personalizable
• Ideal para aplicaciones dinámicas y de alta precisión • Muy grande;Altas aceleraciones y velocidades combinadas con una gran precisión
Este pórtico permite movimientos muy dinámicos en un área de 1300 x 800 mm. El cabezal o sensor de procesamiento personalizado en el eje Z se desplaza rápida y suavemente sobre las vigas del granito. Las guías de los raíles perfilados se fijan directamente sobre el granito para conseguir unas propiedades de marcha óptimas y obtener resultados enormemente repetibles en el rango submicrométrico.
Especificaciones - Carrera: 800 x 1300 x 200 mm - Repetibilidad: 1 – 0,7 µm - Velocidad: 500 - 1000 mm (XY) / 50 – 100 (Z) - Max. Carga: 150 N (Z) - Accionamiento: motor lineal, raíl perfilado (XY) | husillo a bolas, servo AC (Z) - Retroalimentación: sistema de medición lineal - Controlador de movimiento: serie FMC, ACS, integración PLC
Opciones personalizadas: - Process adaptation, sample holder, head / sensor - Versions for clean room ISO 14644-1 (up to class 1 on request) - Frame, vibration insulation, enclosure, safety concept - Extension of degrees of freedom for XYZ-Rx-Ry-Rz movements - Individual solution finding with 3D design for the positioning task Customised options: FMC series, ACC series, ACC series, PLC integration Customised options: FMC series, ACC series, head / sensor - Versions for clean room ISO 14644-1 (up to class 1 on request) - Frame, vibration insulation, enclosure, safety concept - Extension of degrees of freedom for XYZ-Rx-Ry-Rz movements - Customised solution finding with 3D design for the positioning task
Translated with DeepL
We use cookies to optimize our website for you and to be able to improve it continuously. By clicking the "Accept" button, you expressly agree to the use of cookies. For further information on cookies, please refer to our privacy policy.