Soluciones de desarrollo y componentes para su aplicaciónLos husillos de precisión OEM de Feinmess Suhl se utilizan en numerosas aplicaciones industriales, así como en investigación y desarrollo. Una amplia variedad de diseños y materiales hace posible adaptar los husillos y conjuntos a una amplia gama de condiciones ambientales, como radiación, baja temperatura, vacío o condiciones de sala limpia.Sala blanca, vacío, funcionamiento en secoSoluciones probadas de accionamiento y posicionamiento hasta la clase de sala blanca ISO 1, HV / UHV / EUV, lubricación líquida hasta 10-8, lubricación seca hasta 10-11 mbar, etc.Óptica, fotónica, tecnología láserSoluciones probadas de accionamiento y posicionamiento, p. ej., para funciones de ajuste óptico, enfoque o zoom, dispositivos mecánico-ópticos de puntería, sistemas de cámaras, escáneres para la digitalización de imágenes de rayos X, etc. Translated with DeepL

Pórtico XYZ para aplicaciones altamente dinámicasPersonalizable• Ideal para aplicaciones dinámicas y de alta precisión• Muy grande;Altas aceleraciones y velocidades combinadas con una gran precisiónEste pórtico permite movimientos muy dinámicos en un área de 1300 x 800 mm. El cabezal o sensor de procesamiento personalizado en el eje Z se desplaza rápida y suavemente sobre las vigas del granito. Las guías de los raíles perfilados se fijan directamente sobre el granito para conseguir unas propiedades de marcha óptimas y obtener resultados enormemente repetibles en el rango submicrométrico. Especificaciones- Carrera: 800 x 1300 x 200 mm- Repetibilidad: 1 – 0,7 µm- Velocidad: 500 - 1000 mm (XY) / 50 – 100 (Z)- Max. Carga: 150 N (Z)- Accionamiento: motor lineal, raíl perfilado (XY) | husillo a bolas, servo AC (Z)- Retroalimentación: sistema de medición lineal- Controlador de movimiento: serie FMC, ACS, integración PLCOpciones personalizadas:- Process adaptation, sample holder, head / sensor- Versions for clean room ISO 14644-1 (up to class 1 on request)- Frame, vibration insulation, enclosure, safety concept- Extension of degrees of freedom for XYZ-Rx-Ry-Rz movements- Individual solution finding with 3D design for the positioning taskCustomised options: FMC series, ACC series, ACC series, PLC integrationCustomised options: FMC series, ACC series, head / sensor- Versions for clean room ISO 14644-1 (up to class 1 on request)- Frame, vibration insulation, enclosure, safety concept- Extension of degrees of freedom for XYZ-Rx-Ry-Rz movements- Customised solution finding with 3D design for the positioning task Translated with DeepL

Pórtico de inspección doble XYZ para semiconductoresPersonalizableEste sistema de inspección consta de cuatro ejes de sala blanca;Rango de recorrido muy amplio de 2 x 720 x 720 x 100 mm• Permite la integración de dos procesos simultáneamenteEste sistema de inspección consta de cuatro ejes de sala blanca y permite la medición automatizada de varios objetos simultáneamente. Se consigue una alta dinámica y la máxima reproducibilidad. Una cámara o sensor de alta resolución por lado se desplaza con respecto a la muestra para comprobar geometrías, realizar mediciones y documentar características especiales de calidad. Especificaciones- Carrera: 2 x cada uno 720 x 720 x 100 mm- 2x ejes X cada uno para escáneres / microscopios de hasta 25 kg- 2x ejes Y cada uno para mandriles de hasta 23 kg / obleas de hasta 12" / 300 mm- Precisión de repetición: 1.5 – ± 0.3 µm- Velocidad: 750 – 1500 mm (XY) / 150 – 300 (Z)- Max. Carga: 150 N (XY) / 200 N (Z)- Accionamiento: motor lineal (sin hierro), raíl perfilado (XY) | husillo a bolas, servo AC (Z)- Retroalimentación: sistema de medición lineal, encoder del motor- Controlador de movimiento: FMC-250/280, ACS, integración PLC- Clase de sala limpia: ISO 2Opciones personalizadas:- Ampliación de los grados de libertad para movimientos XYZ-Rx-Ry-Rz- Búsqueda de soluciones individuales con diseño 3D para la tarea de posicionamiento- Bastidor con aislamiento antivibraciones, envolvente, concepto de seguridad- Conexiones para cubiertas de aspiración y de cinta circulante- Ampliación de los grados de libertad para movimientos XYZ-Rx-Ry-Rz- Búsqueda de soluciones individuales con diseño 3D para la tarea de posicionamiento. Translated with DeepL

Sistema de posicionamiento de 8 ejes / goniómetroPersonalizable• Inspección automatizada de 8 ejes desde diferentes ángulos• Sistema de rotación coaxial que gira las cámaras / sensores / iluminación alrededor de un centro común• Ideal para inspeccionar pantallasEste sistema de posicionamiento de 8 ejes permite analizar e inspeccionar diversas geometrías de muestras y otras piezas. Ambas cámaras / sensores pueden girarse sobre la muestra y ajustarse en altura. Además, el portamuestras puede inclinarse en paralelo a la superficie de medición para compensar las diferencias entre las distintas muestras. Gracias al posicionamiento XY Rz, la muestra puede evaluarse desde cualquier ángulo en el comportamiento de radiación espacial mediante la cámara personalizada. Especificaciones- Carrera: 3° x 3° x 365° x 365 mm x 100 mm x 100 mm x 230 mm x 45° x 45°- Repetibilidad: 0,005 - 0,007° / 2 - 4,4 µm - Velocidad: 10 – 60 mm/s- Max. Carga: 50 - 250 N- Accionamiento: mauell, correa (Rxj, Ryj) / motor paso a paso, husillo a bolas (XYZ) / motor paso a paso, correa (Ry1, Ry2)- Motion Controller: FMC400/450, ACS, integración PLCOpciones personalizadas:- Adaptación al proceso, portamuestras, cabezal / sensor- Versiones para sala blanca ISO 14644-1 (hasta clase 1 bajo pedido)- Rack, aislamiento de vibraciones, envolvente, concepto de seguridad- Conexiones para el control del proceso;- Ampliación de los grados de libertad para movimientos XYZ-Rx-Ry-Rz- Búsqueda individual de soluciones con diseño 3D para la tarea de posicionamiento- Bastidor con aislamiento antivibraciones, envolvente, concepto de seguridad- Conexiones para cubiertas de aspiración y de cinta giratoria- Ampliación de los grados de libertad para movimientos XYZ-Rx-Ry-Rz- Búsqueda individual de soluciones con diseño 3D para la tarea de posicionamiento. Translated with DeepL

Tuerca serie 1112 con inversión de la marcha como tuerca cilíndrica simple con rosca de conexión y contacto de 4 puntos, sin rascadorRosca de husillo rectificada según clase P1-P5Tornillos de bolas miniatura también disponibles con juego axial Translated with DeepL

 Tuerca serie 1214 con inversión de marcha única como tuerca simple cilíndrica con contacto de 4 puntos, sin rascador Geometría exterior de la tuerca diseñada para el montaje en una carcasa. Rosca de husillo rectificada según la clase P1-P5 Tornillos de bolas miniatura también disponibles con juego axial. Translated with DeepL

 Tuerca serie 1412 con inversión de marcha simple como tuerca simple embridada con contacto de 4 puntos, con rascadores de plástico estándar en ambos lados. Geometría exterior de la tuerca para fijación mediante brida. Tornillos de bolas miniatura también disponibles con juego axial. Translated with DeepL

 Tuerca serie 1510 con inversión de marcha simple como tuerca cilíndrica doble con resorte con rosca de conexión y contacto de 2 puntos, sin rigidizador. Geometría ajustada de la tuerca diseñada para atornillar. Rosca de husillo rectificada según la clase P1-P5 . Translated with DeepL