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SeguidoresFabricanteAugust Steinmeyer GmbH & Co. KG
Grupo de producto Sistemas de posicionamiento
Nombre del producto4-Achs-Positioniersystem
Imágenes de productos
Description
Pórtico de inspección doble XYZ para semiconductores
Personalizable
Este sistema de inspección consta de cuatro ejes de sala blanca;Rango de recorrido muy amplio de 2 x 720 x 720 x 100 mm
• Permite la integración de dos procesos simultáneamente
Este sistema de inspección consta de cuatro ejes de sala blanca y permite la medición automatizada de varios objetos simultáneamente. Se consigue una alta dinámica y la máxima reproducibilidad. Una cámara o sensor de alta resolución por lado se desplaza con respecto a la muestra para comprobar geometrías, realizar mediciones y documentar características especiales de calidad.
Especificaciones
- Carrera: 2 x cada uno 720 x 720 x 100 mm
- 2x ejes X cada uno para escáneres / microscopios de hasta 25 kg
- 2x ejes Y cada uno para mandriles de hasta 23 kg / obleas de hasta 12" / 300 mm
- Precisión de repetición: 1.5 – ± 0.3 µm
- Velocidad: 750 – 1500 mm (XY) / 150 – 300 (Z)
- Max. Carga: 150 N (XY) / 200 N (Z)
- Accionamiento: motor lineal (sin hierro), raíl perfilado (XY) | husillo a bolas, servo AC (Z)
- Retroalimentación: sistema de medición lineal, encoder del motor
- Controlador de movimiento: FMC-250/280, ACS, integración PLC
- Clase de sala limpia: ISO 2
Opciones personalizadas:
- Ampliación de los grados de libertad para movimientos XYZ-Rx-Ry-Rz
- Búsqueda de soluciones individuales con diseño 3D para la tarea de posicionamiento
- Bastidor con aislamiento antivibraciones, envolvente, concepto de seguridad
- Conexiones para cubiertas de aspiración y de cinta circulante
- Ampliación de los grados de libertad para movimientos XYZ-Rx-Ry-Rz
- Búsqueda de soluciones individuales con diseño 3D para la tarea de posicionamiento. Translated with DeepL
Personalizable
Este sistema de inspección consta de cuatro ejes de sala blanca;Rango de recorrido muy amplio de 2 x 720 x 720 x 100 mm
• Permite la integración de dos procesos simultáneamente
Este sistema de inspección consta de cuatro ejes de sala blanca y permite la medición automatizada de varios objetos simultáneamente. Se consigue una alta dinámica y la máxima reproducibilidad. Una cámara o sensor de alta resolución por lado se desplaza con respecto a la muestra para comprobar geometrías, realizar mediciones y documentar características especiales de calidad.
Especificaciones
- Carrera: 2 x cada uno 720 x 720 x 100 mm
- 2x ejes X cada uno para escáneres / microscopios de hasta 25 kg
- 2x ejes Y cada uno para mandriles de hasta 23 kg / obleas de hasta 12" / 300 mm
- Precisión de repetición: 1.5 – ± 0.3 µm
- Velocidad: 750 – 1500 mm (XY) / 150 – 300 (Z)
- Max. Carga: 150 N (XY) / 200 N (Z)
- Accionamiento: motor lineal (sin hierro), raíl perfilado (XY) | husillo a bolas, servo AC (Z)
- Retroalimentación: sistema de medición lineal, encoder del motor
- Controlador de movimiento: FMC-250/280, ACS, integración PLC
- Clase de sala limpia: ISO 2
Opciones personalizadas:
- Ampliación de los grados de libertad para movimientos XYZ-Rx-Ry-Rz
- Búsqueda de soluciones individuales con diseño 3D para la tarea de posicionamiento
- Bastidor con aislamiento antivibraciones, envolvente, concepto de seguridad
- Conexiones para cubiertas de aspiración y de cinta circulante
- Ampliación de los grados de libertad para movimientos XYZ-Rx-Ry-Rz
- Búsqueda de soluciones individuales con diseño 3D para la tarea de posicionamiento. Translated with DeepL
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