ETEL S.A.
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ETEL S.A.
Mesas giratorias
DXRH ROTARY AXIS
El DXRH es la última incorporación a las soluciones de ejes rotativos de ETEL. Se trata de un eje rotativo de 1 DOF basado en rodamientos mecánicos que ofrece un rendimiento excepcional en términos de exactitud y precisión.
Con un codificador de 360.000 líneas y unas características mecánicas inigualables, directamente comparables con las soluciones de cojinetes de aire sin la complejidad asociada, el DXRH se sirve en su corazón de la mejor tecnología de codificadores y cojinetes de HEIDENHAIN, y de un motor sin dientes con tecnología de accionamiento directo de ETEL sin ninguna ondulación de par.
Totalmente compatible con las interfaces estándar de ETEL, el módulo DXRH está disponible como módulo independiente o integrado en la cartera de sistemas de ETEL. También proporciona una vía de mejora del rendimiento para todas las aplicaciones basadas en DXR+ sin necesidad de rediseñarlas, ya que las interfaces son idénticas.
El módulo giratorio DXRH puede integrarse en las plataformas apiladas CHARON2 y VULCANO2. Aporta alta rigidez, alta precisión, alta exactitud, alto nivel de limpieza así como baja deformación inducida térmicamente gracias a su diseño en acero inoxidable.
Centrado en facilitar las aplicaciones de semiconductores, el módulo sigue siendo adecuado para todos los mercados y necesidades diversas que requieren soluciones de rotación de alta precisión y exactitud.
Adaptado a diversas aplicaciones e industrias, el módulo rotativo DXRH es especialmente adecuado para aplicaciones de control de procesos de obleas, como la metrología de superposición, la metrología de dimensiones críticas y de películas finas, así como la fotónica.
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EJES ROTATIVOS DXR+
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EJES ROTATIVOS
ETEL S.A.
Mesas giratorias
El DXR+ es un módulo rotativo que presenta un diseño compacto, ligero, un amplio eje hueco, y que ofrece el ratio de coste a prestaciones apropiado para apliciaciones de gama media en semiconductor y electrónica.
El DXR+ aporta importantes mejoras en términos de rigidez que tienen un impacto directo en el ancho de banda de regulación de la etapa XY que lo soporta. Puede operarse con tensiones de bus de 48 VDC hasta 300 VDC. Puede regularse con un AccurET modular 48 o 300, o por un AccurET VHP para requerimientos de mayor estabilidad de posición.
Al igual que el resto de módulos estándar de ETEL (ZT, Z3TH, RTTB), el DXR+ puede montarse sobre cualquier plataforma XY estándar. El DXR+ es un módulo de un grado de libertad que permite un desplazamiento angular ilimitado. Como opción, el recorrido puede limitarse a segmentos angulares aproximadamente múltiplos de 60°. El nivel de limpieza de un DXR+ va desde ISO 5 hasta ISO 1 bajo condiciones específicas.
El módulo DXR+ proporciona una solución adecuada para hacer frente a cualquier aplicación que requiera:
- Suavidad de movimiento
- Estabilidad de posición en rangos de 100 nm en radios de 150 mm
El uso de este módulo es adecuado para, entre otras aplicaciones:
- control de proceso de obleas, corte de obleas
- trazado de obleas
- recocido por láser
- fabricación de células fotovoltaicas
- etc.
Características
- Diámetro: 155 mm
- Tecnología de motor sin dientes (sin "cogging") para alta estabilidad de velocidad
- Perfil / masa reducidos para aplicaciones de alta precisión
- Encoder óptico sin contacto de alta precisión
- Posibilidades de recorrido angular ilimitadas
- Amplio eje hueco: 44 mm
- Suministro de vacío en el porta-herramientas
- Compatibilidad con sala limpia ISO clase 5, con posibilidad de alcanzar ISO clase 1
Especificaciones
- Repetitividad bidireccional ±2 arcsec a ±3sigma
- Precisión de posición
- hasta ±30 arcsec (sin calibración)
- hasta ±3 arcsec tras calibración
- Velocidad hasta 400 rpm
- Estabilidad de posición ±0,2 arcsec
- Capacidad de alta estabilidad de velocidad
Solictiar el Manual de Integración correspondiente para más información.
EJES ROTATIVOS DYNX
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Ejes rotativos
ETEL S.A.
Mesas giratorias
La gama rotativa DynX es una familia de ejes de posicionamiento rotativo de precisión. Con un rango de productos que combina 3 diámetros diferentes, la gama rotativa DynX es la solución estándar ideal para todas las aplicaciones donde se requiere una alta fiabilidad, precisión extraordinaria, bajo mantenimiento y fácil integración. El producto rotativo DynX se suma de forma perfecta a los lineales. No se requiere ninguna placa de montaje para conectar los ejes lineales y los rotativos, resultando un diseño compacto, altamente rígido, y unas soluciones apiladas de precisión. Las etapas rotativas están equipadas con tecnología de motores sin dientes, proporcionando un movimiento suave, ideal para aplicaciones de estabilidad a alta velocidad. Están disponibles grandes ejes huecos para acomodar los cables y los tubos de los clientes. Características - 3 diámetros diferentes: 100 / 155 / 225 mm - Tecnología de motor sin dientes (sin "cogging") para estabilidad a alta velocidad - Perfil bajo / Masa baja para aplicaciones de alta precisión - Encoder óptico sin contacto de alta precisión - Posibilidades de recorrido angular limitado de 20 a 390 - Gran eje hueco para una máxima flexibilidad - Regla angular para el proceso de puesta en marcha - Opciones y accesorios disponibles, tales como carreras limitadas, purga de aire, y alargaderas de cables. Principales prestaciones - Repetitividad bidireccional ±1,5 arcsec a ±3 sigma - Precisión de posición - hasta ±30 arcsec (sin calibración) - hasta ±3 arcsec después de la calibración - Velocidad hasta 400 rpm - Estabilidad en posición ±0,2 arcsec - Estabilidad a alta velocidad Solicite el Manual de Integración correspondiente para más información.
