ETEL tiene el orgullo de presentar su nuevo sistema VULCANO XY - un diseño de tres piezas que permite una solución compacta y diseñada en coste, equipada con rodamientos mecánicos y sistemas de medida lineales ópticos de altas prestaciones. Esta plataforma puede equiparse fácilmente con los módulos rotativos RTTB o el flamante nuevo módulo combinado Z3TH. Este último proporciona corrección Tip-Tilt, ejes Z dobles, 364° de rotación Theta y 4 grados de libertad.
Más información sobre Vulcano
Sistema apilado / Plataforma
Una configuración multiejes (XY, XYT, XYZ y XYZT) puede confeccionarse fácilmente a partir de ejes y módulos de estantería.
ASME-NNNN-03-0490-0420xx-XY STACKED PLATFORM
El sistema VULCANO XY es un diseño de tres piezas que permite una solución compacta y diseñada en coste, unido a rodamientos mecánicos y sistemas de medida lineales de altas prestaciones.
La base de los ejes inferiores (Y1 e Y2) se compone de 2 motores lineales con núcleo férrico, en gantry, que junto a los controladores AccurET, permiten mejor repetitividad y una eficiencia óptima. El eje superior (X) se compone de un motor lineal de núcleo férrico. El uso de motores con núcleo férrico ofrece una alta densidad de fuerza para imprimir altas aceleraciones y velocidades, a la vez que manteniedo una baja temperatura de trabajo.
La base del eje superior (X), que incorpora los motores de los ejes inferiores (Y1 e Y2) es de aluminio para optimizar masa y dinámica. La expansión térmica se gestiona con elementos flexibles.
Hay 3 guías lineales en la base inferior. Las dos guías externas son guías de bolas recirculantes mientras que la interior (en el medio de la base) es una guía de rodillos recirculantes. El acoplamiento entre guías es mediante elementos flexibles. Algunos de éstos se montan sobre los bloques de las guías exteriores y permiten la traslación en la dirección X. Otros se montan sobre el rail central y permiten la rotación sobre el eje vertical. El eje superior (X) integra 2 rodamientos lineales. Es acoplamiento es mediante un nuevo conjunto de elementos flexibles que permiten la traslación en la dirección Y para uno de los raíles.
El uso de esta plataforma es apropiado, entre otros, para:
- Aplicaciones de Control de Proceso de Obleas tales como Metrología de Recubrimiento de Capa, Dimensiones Críticas y Metrología de Lámina Delgada
- Back-end: procesos de flip-chip específicos sobre grandes paneles/sustratos
Características
- Diseño compacto
- Estabilidad de posición nanométrica
- Tiempos de desplazamiento y estabilización cortos
- Alta dinámica
- Alta repetitividad bidireccional
- Alta estabilidad de posición
- Compatibilidad con sala limpia ISO class 1
Pida el Manual de Integración correspondiente para más información.
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