El DXRH es la última incorporación a las soluciones de ejes rotativos de ETEL. Se trata de un eje rotativo de 1 DOF basado en rodamientos mecánicos que ofrece un rendimiento excepcional en términos de exactitud y precisión. Con un codificador de 360.000 líneas y unas características mecánicas inigualables, directamente comparables con las soluciones de cojinetes de aire sin la complejidad asociada, el DXRH se sirve en su corazón de la mejor tecnología de codificadores y cojinetes de HEIDENHAIN, y de un motor sin dientes con tecnología de accionamiento directo de ETEL sin ninguna ondulación de par. Totalmente compatible con las interfaces estándar de ETEL, el módulo DXRH está disponible como módulo independiente o integrado en la cartera de sistemas de ETEL. También proporciona una vía de mejora del rendimiento para todas las aplicaciones basadas en DXR+ sin necesidad de rediseñarlas, ya que las interfaces son idénticas. El módulo giratorio DXRH puede integrarse en las plataformas apiladas CHARON2 y VULCANO2. Aporta alta rigidez, alta precisión, alta exactitud, alto nivel de limpieza así como baja deformación inducida térmicamente gracias a su diseño en acero inoxidable. Centrado en facilitar las aplicaciones de semiconductores, el módulo sigue siendo adecuado para todos los mercados y necesidades diversas que requieren soluciones de rotación de alta precisión y exactitud. Adaptado a diversas aplicaciones e industrias, el módulo rotativo DXRH es especialmente adecuado para aplicaciones de control de procesos de obleas, como la metrología de superposición, la metrología de dimensiones críticas y de películas finas, así como la fotónica. Translated with DeepL