Tecnología de microsistemas
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Los Microsistemas integran componentes mecánicos, electrónicos u ópticos muy pequeños (hasta unos pocos nanómetros) así como algunos otros componentes construidos sobre un sustrato para la construcción de dispositivos funcionales. Estos dispositivos se utilizan como sensores inteligentes, actuadores y controladores para diversas aplicaciones. Las Tecnologías de Microsistemas (MST) tienen diversas aplicaciones (piezas de automóviles, en la tecnología médica y en los sectores de información y comunicación).
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