¿con qué programa generas el gcode?
prueba a bajar la velocidad del thc, ¿usa sólo el mach3 plasma, sin añadirle nada yo al principio le instalé un programa de bob campbells y me daba errores, mañana le echo una ojeada al mío y te cuento como tengo configurados los pines, creo que también hay que activar la casilla activo a nivel bajo, pero mañana te lo aseguro.
un saludo