Metrologías y controles de calidad

El DXRH es la última incorporación a las soluciones de ejes rotativos de ETEL. Se trata de un eje rotativo de 1 DOF basado en rodamientos mecánicos que ofrece un rendimiento excepcional en términos de exactitud y precisión. Con un codificador de 360.000 líneas y unas características mecánicas inigualables, directamente comparables con las soluciones de cojinetes de aire sin la complejidad asociada, el DXRH se sirve en su corazón de la mejor tecnología de codificadores y cojinetes de HEIDENHAIN, y de un motor sin dientes con tecnología de accionamiento directo de ETEL sin ninguna ondulación de par. Totalmente compatible con las interfaces estándar de ETEL, el módulo DXRH está disponible como módulo independiente o integrado en la cartera de sistemas de ETEL. También proporciona una vía de mejora del rendimiento para todas las aplicaciones basadas en DXR+ sin necesidad de rediseñarlas, ya que las interfaces son idénticas. El módulo giratorio DXRH puede integrarse en las plataformas apiladas CHARON2 y VULCANO2. Aporta alta rigidez, alta precisión, alta exactitud, alto nivel de limpieza así como baja deformación inducida térmicamente gracias a su diseño en acero inoxidable. Centrado en facilitar las aplicaciones de semiconductores, el módulo sigue siendo adecuado para todos los mercados y necesidades diversas que requieren soluciones de rotación de alta precisión y exactitud. Adaptado a diversas aplicaciones e industrias, el módulo rotativo DXRH es especialmente adecuado para aplicaciones de control de procesos de obleas, como la metrología de superposición, la metrología de dimensiones críticas y de películas finas, así como la fotónica. Translated with DeepL

El DXR+ es un módulo rotativo que presenta un diseño compacto, ligero, un amplio eje hueco, y que ofrece el ratio de coste a prestaciones apropiado para apliciaciones de gama media en semiconductor y electrónica. El DXR+ aporta importantes mejoras en términos de rigidez que tienen un impacto directo en el ancho de banda de regulación de la etapa XY que lo soporta. Puede operarse con tensiones de bus de 48 VDC hasta 300 VDC. Puede regularse con un AccurET modular 48 o 300, o por un AccurET VHP para requerimientos de mayor estabilidad de posición. Al igual que el resto de módulos estándar de ETEL (ZT, Z3TH, RTTB), el DXR+ puede montarse sobre cualquier plataforma XY estándar. El DXR+ es un módulo de un grado de libertad que permite un desplazamiento angular ilimitado. Como opción, el recorrido puede limitarse a segmentos angulares aproximadamente múltiplos de 60°. El nivel de limpieza de un DXR+ va desde ISO 5 hasta ISO 1 bajo condiciones específicas. El módulo DXR+ proporciona una solución adecuada para hacer frente a cualquier aplicación que requiera: - Suavidad de movimiento - Estabilidad de posición en rangos de 100 nm en radios de 150 mm El uso de este módulo es adecuado para, entre otras aplicaciones: - control de proceso de obleas, corte de obleas - trazado de obleas - recocido por láser - fabricación de células fotovoltaicas - etc. Características - Diámetro: 155 mm - Tecnología de motor sin dientes (sin "cogging") para alta estabilidad de velocidad - Perfil / masa reducidos para aplicaciones de alta precisión - Encoder óptico sin contacto de alta precisión - Posibilidades de recorrido angular ilimitadas - Amplio eje hueco: 44 mm - Suministro de vacío en el porta-herramientas - Compatibilidad con sala limpia ISO clase 5, con posibilidad de alcanzar ISO clase 1 Especificaciones - Repetitividad bidireccional ±2 arcsec a ±3sigma - Precisión de posición - hasta ±30 arcsec (sin calibración) - hasta ±3 arcsec tras calibración - Velocidad hasta 400 rpm - Estabilidad de posición ±0,2 arcsec - Capacidad de alta estabilidad de velocidad Solictiar el Manual de Integración correspondiente para más información.

La gama rotativa DynX es una familia de ejes de posicionamiento rotativo de precisión. Con un rango de productos que combina 3 diámetros diferentes, la gama rotativa DynX es la solución estándar ideal para todas las aplicaciones donde se requiere una alta fiabilidad, precisión extraordinaria, bajo mantenimiento y fácil integración. El producto rotativo DynX se suma de forma perfecta a los lineales. No se requiere ninguna placa de montaje para conectar los ejes lineales y los rotativos, resultando un diseño compacto, altamente rígido, y unas soluciones apiladas de precisión. Las etapas rotativas están equipadas con tecnología de motores sin dientes, proporcionando un movimiento suave, ideal para aplicaciones de estabilidad a alta velocidad. Están disponibles grandes ejes huecos para acomodar los cables y los tubos de los clientes. Características - 3 diámetros diferentes: 100 / 155 / 225 mm - Tecnología de motor sin dientes (sin "cogging") para estabilidad a alta velocidad - Perfil bajo / Masa baja para aplicaciones de alta precisión - Encoder óptico sin contacto de alta precisión - Posibilidades de recorrido angular limitado de 20 a 390 - Gran eje hueco para una máxima flexibilidad - Regla angular para el proceso de puesta en marcha - Opciones y accesorios disponibles, tales como carreras limitadas, purga de aire, y alargaderas de cables. Principales prestaciones - Repetitividad bidireccional ±1,5 arcsec a ±3 sigma - Precisión de posición - hasta ±30 arcsec (sin calibración) - hasta ±3 arcsec después de la calibración - Velocidad hasta 400 rpm - Estabilidad en posición ±0,2 arcsec - Estabilidad a alta velocidad Solicite el Manual de Integración correspondiente para más información.

ACCURET+: ULTIMAS PRESTACIONES EN CONTROL DE MOVIMIENTO La nueva ACCURET+ es sinónimo de máximo rendimiento, una demostración de la mejor tradición de ETEL en el control del movimiento. Los dos primeros miembros de la cartera son el ACCURET+100 y el ACCURET+300. Estos controladores son compatibles con todos los miembros de la familia AccurET con una gama más amplia de niveles de corriente en el mismo diseño modular. Este diseño facilita la integración de los controladores de posición ACCURET+ en la máquina y ofrece una solución muy compacta: - Cada controlador puede accionar dos ejes y se puede utilizar una sola fuente de alimentación para varios ACCURET+ que compartan la misma tensión de bus de CC. - Existe una versión de factor de forma más amplio que permite insertar tarjetas opcionales, como el controlador de movimiento ULTIMET LIGHT TCP/IP. - El cableado simplificado de alimentación y comunicaciones, así como una unidad de refrigeración compacta, facilitan la instalación y el mantenimiento de la máquina. - No es necesario ningún bastidor, por lo que el volumen necesario sólo depende del número de ejes accionados. Translated with DeepL

El UltimET Advanced es un potente y versátil controlador de movimiento multieje que refuerza la actual cartera de productos de la familia UltimET de gama alta. Con el UltimET Advanced, ETEL no solo aporta un controlador de movimiento con un rendimiento intrínseco excepcional, sino que también aporta al mercado un alto nivel de flexibilidad en el control de sistemas de movimiento avanzados con estrategias que se pueden configurar de forma muy precisa para satisfacer las necesidades específicas de diversas aplicaciones. Translated with DeepL

Para las aplicaciones más exigentes, ETEL desarrolló una gama de controlador de posición de muy alto rendimiento única llamada AccurET VHP. Esta gama de producto está equipada con tanto hardware y software específico que maximiza el rendimiento. AccurET VHP posición controladores son compatibles con todos los controladores de la AccurET y se puedan dedicar a los más exigentes ejes de un sistema de movimiento de varios ejes. De hecho, es que el mismo descentralizada arquitectura utilizada en el modular de AccurET. Esto permite que una parte importante del software de control de máquina que se encuentra en el nivel de eje. Además de los beneficios de ETEL controladores como la energía de cómputo alto, rápido y bus de comunicación en tiempo real y algoritmos de control del estado del arte, gama VHP de ETEL ofrece excelente relación señal a ruido. AccurET VHPs se utilizan con éxito en áreas tales como: Control de procesos Inspección de la oblea litografía Oblea y muere el empaquetar nivel Equipos de prueba y control

AccurET: una familia de controladores de posición de altas prestaciones Los controladores de posición AccurET cubren un amplio rango de tensión y niveles de corriente en una solución compacta. Esto hace que la integración de varios servomotores en una única máquina sea muy fácil. Su diseño modular hace de los controladores de posición AccurET una solución muy compacta: - Cada controlador puede accionar dos ejes y se puede usar una única fuente de alimentación para varios AccurET, compartiendo la misma tensión de bus DC. - Se puede insertar una tarjeta opcional en un AccurET, tal como el controlador de movimiento UltimET o la tarjeta de E/S. - No requiere armario en rack, haciendo que el volumen requerido dependa únicamente del número de ejes a accionar. - Los cableados de potencia y comunicación simplificados, así como la unidad de refrigeración modular, hacen que la instalación de la máquina y el mantenimiento sean fáciles de realizar. Los fabricantes de máquinas apreciarán este diseño: económico, compacto, integración rápida, y fácil de sustituir en campo. Véase el catálogo Motion Control o solicite el manual técnico correspondiente para más información.

El controlador de movimiento UltimET Light es el maestro del bus TransnET y puede manejar hasta 63 ejes. Cabe destacar que las prestaciones de la comunicación se mantienen igual, independientemente del número de ejes. Para ofrecer a sus clientes la mejor solución en precio/prestaciones, ETEL ha diseñado dos versiones del controlador de movimiento: La UltimET Light smart gateway se ha diseñado para aplicaciones sensibles a precio que requieran movimientos sincronizados. La versión UltimET Light interpolation es la más adecuada para movimientos interpolados. UltimET Light ofrece diferentes formas de gestionar los movimientos multi-eje, dependiendo de las necesidades: > Los movimientos pueden sincronizarse o interpolarse mediante perfiles de movimiento basados en código G, ULM (Universal Linear Movements), PVT (Position Velocity Time), PT (Position Time) y LKT (LooK-up Table). > Las características de control avanzadas que requieran una comunicación esclavo a esclavo entre los distintos controladores de posición necesitan un UltimET como maestro de TransnET: - El mapeado 3D permite la corrección de los errores mecánicos conocidos de una etapa - Pre-control de aceleración con pórtico - Etc. Se puede conectar un WAGO gateway module a la tarjeta UltimET permitiendo la comunicación vía Modbus TCP, conectando hasta 16 entradas analógicas y 16 salidas analógicas, así como 128 entradas digitales y 128 salidas digitales. Los UltimET están disponibles en tres factores de forma para adaptarse a la configuración del fabricante del equipo original: > La versión PCI o PCI Express se integran en un PC, lo que resulta muy apropiado para aplicaciones de alta velocidad que requieran comunicación determinística en tiempo real. > La versión TCP/IP se inserta en un controlador de posición AccurET. Esta configuración es mejor para máquinas autónomas, en las que la aplicación de control de movimiento está distante al PC que controla la máquina. Véase el catálogo Motion Control o solicite el manual técnico correspondiente para más información.